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相似文献
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本文叙述13支工业铂热电阻在室温和上限温度525℃之间做热循环,然后测量R(0℃),根据其变化检查工业铂热电阻的稳定性。文中还介绍了内插公式和检定温度点。经过上述稳定性试验、检定和计算分度表的工业铂热电阻在0℃-200℃范围内误差为0.05℃-0.1℃”。  相似文献   

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高准确度电容传感器测量技术D.Marioli等一、I川两用于实验室和工业的许多传感器都是基于电容及其变化的测量。这些传感器用于测量各种物理量,如压力、力、位移、密度、物质浓度、电容外形等。技术要求根据不同的应用有所不同。在许多应用中,该仪器可完成实时...  相似文献   

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本文提出了一种用光栅干涉产生的莫尔条纹进行角度变形测量的新方法 ,从莫尔条纹的数学模型入手分析了测量原理 ,可通过测量莫尔条纹的宽度或者倾角进行船体角度变形的测量 ,并进行了精度分析 ,试验表明 ,在± 30′的视场范围内 ,系统精度达到 1 5″。  相似文献   

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用基片曲率法测量薄膜应力   总被引:7,自引:0,他引:7  
安兵  张同俊  袁超  崔昆 《材料保护》2003,36(7):13-15
采用基片曲率法设计和制作了一种测量薄膜应力的装置,它具有简单、无损伤、快速、易于操作、精度高的优点。使用该装置测量了射频磁控溅射镀制的Cu单层膜和Ag/Cu多层膜的应力,结果表明薄膜残余应力是均匀的,但随沉积条件不同而不同。Cu单层膜和Ag/Cu多层膜处于压应力状态,外加-200V偏压时,Ag/Cu多层膜则转变为很小的拉应力状态。XRD表明Ag/Cu多层膜已结晶,呈现Ag(111)/Cu(111)择优取向。  相似文献   

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激光测微仪测量准确度的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文分析了激光测微仪测量部分的基本原理,讨论了主要部件所带来的测量误差,并在此基础上提出了有效的误差校正方法,以提高仪器的测量准确度。  相似文献   

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