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一种新型的轴向式超高真空自调制规 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的新型自调式超高真空电离规。它是采用自调制技术改变离子收集效率来消除剩余光电流的。它较短收集极BA式自调制规具有灵敏度高(11托~(-1)),零散性小等特点。本文给出了规管在两种不同离子收集效率工作状态下的实验结果和加速极的电子流分布情况。该规管结构简单,测量上限为5×10~(-4)托。在无调制情况下软X射线光电流本底为1.5×10~(-11)托。在自调制工作条件下其可测下限约为2×10~(-12)托。 相似文献
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ZJ-2型电离真空计规管,它在高真空量限内具有较好的线性,并且具有反应快,使用方便等优点,是我国使用最普追的真空测量量具之一。其常数原设计要求是 20托-1;但实际却为 25托-1。长期以来,给真空测量工作造成很大的误差,因此,急需改进。 相似文献
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文章详细叙述了B-A型电离规受弱磁场(<60高斯)影响的性能,这个B-A规灵敏度随.(l)磁场的大小,(2)磁场的方向,特别是发射电子方向和磁场方位之间夹角改变而变化。如果要求B-A规在磁场中工作,必须仔细选择相对于磁场的安装方位才能得到最佳状态。 相似文献
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本文简介了用于超导稳态磁镜等离子体物理实验装置中特殊电离真空计的原理、结构,并给出了仪器主要参数和性能的测试结果,表明双调制型热阴极电离规在强磁场下有较高的灵敏度和良好的线性,能排除来自外部的等离子体干扰和规管自身的X-光电流噪声。该仪器适合特殊环境中10-9托-10-4托范围之快速真空度测量,对H2的响应时间短于1毫秒。它也是热核聚变研究中很有用的一种“诊断”仪器。 相似文献
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热阴极电离规测量和使用中注意的问题李正海(兰州物理研究所.兰州730000)真空测量中.热阴极电离真空计是使用最广泛的一种,不同类型的电离规配合使用能够测量的压力范围,可以从低真空起到目前所能测量的最低压力。尤其在超高真空和极高真空区域中,热阴极电离... 相似文献
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本文描述了一种用于超高真空测量的改进型分离规的设计和特性。栅网的开端结构可防止直接打到离子收集极的x射线,除了那些各电极上反射的少数间接的x射线以外。在相当于残余气体1毫安电子流时,灵敏度系数约为8.3×10-2Pa-1(11托-1)。可实现的压强测量范围在 1×10-6到9×10-10Pa(1× 10-8到 7× 10- 12托)。业已证实,这种规管的x射线极限低于裸体 B-A规。文章还叙述了通过把帽电极装在栅网顶部的简化方法,可用于高真空压强测量的改进型规管设计。 相似文献
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托卡马克装置中存在强磁场、强电场,放电过程中真空度变化迅速。为满足这种特殊环境的真空测量要求,开展了抗强干扰快速测量真空规及仪器的研究。快规使用平板电极结构,在普通热阴极电离规管的基础上增加了调制极;仪器电路除完成稳发射、为加速极供电、离子流放大等基本功能外,它可以提供更大的灯丝电流,为调制极提供周期性脉冲电压,离子流和电子流放大器、调制/解调电路和锁相环电路相互配合,确保快速准确测量。仪器的主控制单元以微处理器为核心,可以设定系统运行的相关参数,离子流、发射电流、灯丝电流可供主控单元采集,以配合完成自动调整和相应控制。 相似文献
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轴向式热磁控抑制电离真空规 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10~(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,其最低可测压强至少可达≤10~(-14)Pa。与Visser在Lafferty的热磁控规基础上提出的热磁控抑制规相比‘它除了Px外‘还具有灵敏度高、金属电极面小、结构简单、除气容易以及采用低温工作阴极等特点。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10~(-2)Pa(发射电流为1×10~(-3)A)。 相似文献
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全压和分压测量的发展 总被引:2,自引:1,他引:1
低于10-8帕量级的清洁真空,如果需要(如表面科学研究)并不难以获得。在大部分工业系统中,10-5帕量级的有限压力足以满足。除在特殊的情况下,真空测量的重复性经常比绝对精度更为重要。此外,低压测量的绝对精度同其它物理量相比是相当低的.近年来已做了大量工作以完善真空计量(如新的校准系统,相互比对,真空规长期性能的研究,新的真空测量原理,如转子规的应用等)。一些有关热阴极离子规低限问题的新思想主要产生于有大型加速器的实验室。用四极质谱计作为分压测量能够产生较好的重复性;由于仅用电离原理,所以能更好地理解离子源对测量谱的影响。市场上的仪器常由微处理机控制(尤其是用于分压测量的仪器),非常适合于真空系统的自动化。 相似文献
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本文描述一个用新的电极系统装配的具有坚固结构的高压强电离规。电极由彼此成直角安装的两块平行的电子收集极板和两块平行的离子收集极板组成,有一根灯丝通过中心轴对称地伸向下面。灯丝由涂以氧化钇的铂-10%铑合金丝组成,这种氧化钇涂料允许电离规在活性气体(例如大气空气)中直到压强5乇的情况下进行工作。探讨电离规的特征曲线能够取得最佳工作条件。规管灵敏度为0. 05乇-1(对空气)并在压强范围1~5 ×10-5乇内保持不变,只要电子加速电位不大于42 V。在评价电离规时,这种规一直被有效地用作付校准标准。当这种规在一个不带捕集阱的转动泵系统上用于测量压强时,由于灯丝的中毒和各电极上聚合物薄膜的形成而经受到困难,在射频溅射系统中,电离规在1~5 × 10-3乇范围内被介绍用作线性的和可重复的压强测量。 相似文献
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碳纳米管冷阴极具有优异的场致电子发射特性,在电子源应用方面具有很好的前景,被认为是很有希望取代热阴极的材料之一。本文回顾了20多年来场发射冷阴极电离规的发展。内容包括微尖型场发射阴极电离规和碳纳米管场发射阴极电离规的发展,从中可以看出场发射电离规的现状和发展趋势。最后对碳纳米管超高/极高真空电离规的发展进行了展望。 相似文献
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介绍了3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的计量学特性实验研究结果。实验设备是一台高真空基础标准,实验范围为10-7~10-3Pa,实验气体为N2、Ar、He和H2。在连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中则所有规的稳定性相似。在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规。对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点。在很宽的压力范围内,热阴极电离规的相对灵敏度变化较小,但反磁控规的相对灵敏度随压力变化较大。反磁控规的放电时间随压力、气体和真空系统中电离源的不同而变化。反磁控规的出气率比热阴极电离规小得多,而抽速与一个具有10mA发射电流的热阴极电离规相当。对一些影响实验规计量学特性的原因进行了讨论。 相似文献
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在我国仍采用托、毫米汞柱为单位的真空仪表就有十万余台,按照国家计量法的规定,这些仪表到 一九九○年就不能使用了,为使这些仪表不致报废,本文为常用其空计提出了一个简单易行的改制方 案,并以 WZK、SG—3、FZH型真空计为例, 论述了改制方策的可行性和具体措施。与电离规 ZJ—2、 热偶规ZJ—51配套的复合真空计,电离计部分通过改变放大器的增益;热偶计部分换上块Pa刻度盘 则可达到改制的目的。建议借改制之机,推广使用稳定型热偶真空规:ZJ-51B,ZJ—51C。 相似文献
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一种新型智能真空测量仪的研制 总被引:4,自引:0,他引:4
本文叙述的是以 DL- 5电离真空规为传感器 ,用单片机作控制和测量的一种新型智能真空测量仪。文中简述其工作原理 ,详叙实现它的方法。该仪与别的智能真空测量仪不同的方法是 ,采用单片机控制发射电流 ,这样不仅提高了测量精度 ,而且将发射电流参入计算 ,扩展了量程范围。该仪采用了软件抗干扰措施 ,有自诊和自保护功能 相似文献
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顾昌鑫 《真空科学与技术学报》1983,(5)
用模拟计算机和数字计算机对端流式电离真空规中的电位分布和电子运动轨迹作了计算分析。结果表明:这种规管的加速栅包含的空间存在着径向电场和轴向电场,它的有效电离区比BA规大;径向电场和轴向电场有利于气体离子向中心轴集聚并沿中心向收集极作加速运动;电子向加速栅作弯曲运动后将在径向作正栅振荡。这些结果对端流式结构所具有的较高的灵敏度和较小的几何尺寸零散性可作合理的解释。 相似文献
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超高真空分离规的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍我们研制的超高真空分离规的初步结果。给出分离规的结构、工作状态、压强范围和灵敏度。在全压强范围,分别利用大圆筒电离计、BA计和分离规进行对比,说明分离规的读数是可靠的,发现分离规在高压强时收集极电流有饱和现象并加以说明,发现BA计在10~(-8)托(空气)量程就已出现电子诱导栅极离子解吸现象。在0.3×10~(-11)托的极限真空下,改变栅灯电压测收集极电流,用对数直线外延法确定分离规的x射线光电流本底,它为1×10~(-12)托,讨论了这种方法的可行性。最后提出进一步提高分离规灵敏度的一种措施。 相似文献