场发射压力传感器的研究进展

对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较；从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径；讨论了在阴极发射体阵列上沉积纳米硅薄膜，提高器件灵敏度的设想。     

场发射真空传感器

场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器.通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系.并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列.保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流.实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%.该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力.     

碳纳米管压力传感器研究进展

碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一.本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较.     

合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展

综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况.合金敏感薄膜电阻在应变压?技 力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求.     

金刚石薄膜电子场发射研究进展

综述了近来金刚石和类金刚石薄膜电子场发射性能的研究进展，金刚石薄膜是出色的场发射材料，由于其很低的或者是负的电子亲和势（导带能级粒于真空能级之上）和良好的化学稳定性，在真空微电子和场发射显示领域具有广阔的应用前景。     

一维ZnO纳米结构的场发射研究进展

一维纳米结构材料因其优异的电、光及场发射特性，在光电器件、场发射器件等方面具有重要的应用价值而备受关注。ZnO因具有优异的化学及热稳定性，并且其一维纳米结构具有极大的场增强因子，因而在场发射器件阴极中有良好的应用前景。首先简要介绍了ZnO的结构与性质，并重点介绍了ZnO一维纳米材料的常用制备技术及其在场发射领域的研究进展。     

碳纳米管的薄膜场发射

薄膜场发射特性是碳纳米管(CNT)研究的重要课题之一，它直接关系到CNT场发射阴极在将来的实际应用。本就CNT的场发射做一综合评述，主要涉及性能指标、结构模型、图形化方法和工艺等。     

硅尖上纳米金刚石膜场发射性质的研究

本文采用热灯丝CVD法在硅尖上制备了纳米金刚石膜，并研究了硅尖上纳米金刚石膜的场发射性质，实验结果表明，硅尖上纳米金刚石膜的场发射特性与硅平面上生长的多晶金刚石膜比较，有了极大的提高，硅尖上纳米金刚石膜场发射开启电场最小为2.7V/μm，而多晶金刚石膜为4.5V/μm。利用电子隧穿模型对实验结果进行了理论分析，研究表明实验结果与理论分析相符合。     

温度传感功能薄膜技术

随着科学技术的不断进步,人们对温度信息获取的手段提出了新的要求,对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,薄膜传感器的出现满足这一要求。薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛应用。本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、应用、测温机理、膜系及其主要制备工艺等,并探讨了薄膜热敏电阻、薄膜热电偶的标定方法,最后论述了温度传感功能薄膜的国内外发展现状及其目前需要解决的关键技术。     

Field-emission characteristics of chemical vapor deposition-diamond films

Discontinuous and continuous diamond films with different morphologies and qualities were deposited on n²⁺-type Si(100) substrates, using the hot-filament chemical vapor deposition (CVD) technique from CH₄–H₂ gas mixtures. The field-emission characteristics of these diamond films were investigated. The turn-on fields at a 0.01mA/cm² current density were recorded for all the tested CVD-diamond films. It was found that discontinuous diamond films showed a much lower turn-on field (1.2 V/μm) than continuous ones (20 V/μm). The effective working function of continuous diamond films was around 0.1 eV, while that for discontinuous diamond films is about 0.03 eV. O₂ plasma post-deposition sharpening of thick diamond films indicated that the geometrical-field enhancement, caused by the surface topographic changes, has no significant influence on the turn-on field.     

压力容器声发射检测技术概述

阐述了声发射检测的基本原理,介绍了国内外压力容器声发射检测技术的发展历程和现状,给出了压力容器声发射检测方法的优点和压力容器用钢的声发射特性,最后指出了目前声发射检测需解决的问题和发展趋势。     

基于复合光波导的生化传感器应用研究进展

光波导在光电技术领域有广泛的应用,复合光波导结构是在平面光波导上涂覆高折射率薄膜而得到的。基于复合光波导的生化传感器具有非标记、可逆、响应速度快等优点,在环境污染监测领域有广阔的应用前景。介绍了复合光波导的结构和机理,综述了基于复合光波导的生化传感器应用研究进展。     

太阳电池研究进展

晶体硅太阳电池主要朝高效方向发展,薄膜太阳电池特别是多晶硅薄膜太阳电池,由于其廉价,高效,是当前太阳电池研究的热点,也是未来太阳电池发展的方向.分别介绍了第一代、二代太阳电池的发展历程,着重介绍了第三代太阳电池的最新研究进展.     

多孔硅在传感器中的应用研究进展

多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点,成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展,包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素,并展望了多孔硅传感器的发展方向。     

Low Pressure Piezoresistive Sensors for Medical Electronics Applications

Piezoresistive pressure sensors are being widely used for various industrial applications, such as in automobiles and process control. But conventional MEMS piezoresistive pressure sensors possess low sensitivity in the lower pressure range for biomedical applications. Alternative structures of MEMS pressure sensors include the use of bossed diaphragms and nanocrystalline piezoresistors. In this paper, four different diaphragm structures—flat diaphragm, standard bossed diaphragm, complementary bossed diaphragm, and nanocrystalline porous silicon-silicon composite diaphragm—have been analyzed in terms of sensitivity and nonlinearity.     

Carbon Nanotubes Based Devices and Sensors

The dimensionality of a system has a profound influence on its physical behavior, especially for nanostructured materials where at least one of the dimensions is less than 100 nm and, in many instances, the size is comparable with the size of many fundamental physical quantities. Carbon-based nanostructured materials exhibit unique mechanical, electrical, and optical characteristics that may result in many unique device designs. The materials are biocompatible, chemically inert, yet capable of altering electronic properties in presence of some chemical species, dimensionally compatible with bio-molecules, and have interesting electronic characteristics; hence, rendering them as potential chemical and biosensors. A recent heightened awareness of the potential for inadvertent or deliberate contamination of environment and food and agricultural products has made decentralized sensing an important issue for several federal agencies. Recent progress in nanostructured materials and its possible applications in chemical and biological sensors could have a significant impact on data collection, processing, and recognition. Our present and ongoing investigation is aimed towards evaluating the applications of carbon-based nanotubes, nanowires, and nanoporous materials in unique devices and sensors, based on its unique characteristics, morphological flexibility, and biocompatibility.     

电化学DNA传感器的最新研究进展:电极修饰材料、探针固定方法和杂交信号检测方法

电化学DNA传感器作为一种新型的生物传感器,在基因诊断及药物分析等方面具有重要的应用价值。结合近年来电化学DNA传感器的研究进展,简述了其检测过程,介绍了DNA电化学传感器所使用的电极修饰材料,详细论述了探针固定技术及信号检测方法,并展望了其发展及应用前景。