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相似文献
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1.
采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气。  相似文献   

2.
以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征。热重-差热分析表明,在N2气氛中,当温度升到291℃时,前驱体基本挥发完全。采用合成的前驱体通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在石英上沉积制备钯薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。结果表明,所得到的薄膜纯净,无其他杂质存在,薄膜表面连续、致密。  相似文献   

3.
分别采用乙酰丙酮钯、氯化钯和硝酸钯作前驱物,用浸渍-还原法制备了一系列Pd/C催化剂,以松香歧化反应评价其活性,研究了活性炭类型、载体预处理、溶剂、还原方法及温度等因素对Pd/C催化剂活性的影响.结果表明,采用具有较大比表面积和孔容的活性炭作载体有利于钯在其表面的均匀分布和催化剂活性的提高;以Pd(acac)2作前驱体,以及使用极性较强的溶剂与用无机配合物前驱体相比,制备的Pd/C催化剂活性较高;TG-DTA分析表明Pd(acac)2在350℃下完全分解,基于此结果,作者在350℃条件下采用氢气干法还原,制备出活性略高于从日本进口的Pd/C催化剂.  相似文献   

4.
贵金属化学气相沉积的研究进展   总被引:5,自引:0,他引:5  
简要介绍了贵金属薄膜和涂层材料化学气相沉积(CVD)技术的研究进展,包括贵金属的CVD制备方法、沉积贵金属的各种前驱体化合物以及CVD制备的贵金属薄膜和涂层的应用状况等。  相似文献   

5.
金属钯薄膜作为一种新型的稀贵金属低维材料,因为其优异的物理和化学性能,在耐高温涂层、微电子、膜反应器、催化等领域有着非常重要的应用。钯薄膜优异的性能及广阔的应用前景引起人们广泛的关注。介绍了金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备钯膜用前驱体的研究进展以及MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点,概述了其目前研究的热点和进一步研究的方向。  相似文献   

6.
前驱体加热温度对Pt-Ir合金薄膜的成分与沉积速率的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上沉积了PtIr薄膜。研究了前驱体加热温度对PtIr薄膜结构、成分和沉积速率的影响。结果表明,MOCVD的PtIr薄膜为合金膜,Pt-Ir合金薄膜成分、沉积速率随前躯体加热温度变化而变化,并存在极值点。  相似文献   

7.
一种新的β二酮铱MOCVD前驱体的制备及成膜性能   总被引:1,自引:0,他引:1  
从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β二酮前驱体Ir(thd)3,通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征.热重分析表明,当温度升到290℃,前驱体基本挥发完全.使用合成的前驱体通过MOCVD沉积制备铱薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征.结果表明,所得到的薄膜的物相为铱晶相,无其它的杂质峰存在,薄膜表面连续、致密.  相似文献   

8.
化学溶液沉积法制备超导膜具有成本低、可以大批量制备的优点,近年来受到了广泛的关注。但由于传统的无氟化学溶液沉积技术无法阻止BaCO3的形成,很难应用于制备具有高性能的YBCO膜。三氟乙酸盐金属有机物沉积技术(TFA-MOD)被认为是一种制备高性能YBCO膜的方法而备受关注。该技术所用的前驱溶液是将Y,Ba,cu的三氟乙酸盐溶入相应的溶剂中,如甲醇,然后通过二步热处理获得YBCO膜。第1步热处理(热解过程)时,在分解前驱膜的同时生成大量HF气体。  相似文献   

9.
以γ-氨丙基三甲氧基硅烷(γ-APS)为前驱体,采用溶胶-凝胶法制备硅烷溶液,并采用浸涂法在纯镁表面制备有机-无机杂化腐蚀保护膜。金相显微镜对有机-无机杂化膜的表面形貌观察表明,有机-无机杂化膜比铬钝化膜更均匀致密;对有机-无机杂化膜进行动电位极化曲线测定及试验后的显微形貌表明,与铬钝化膜相比,有机-无机杂化膜的自腐蚀...  相似文献   

10.
以离子液相沉淀技术制备的草酸镍纳米棒为前驱体,采用成型-分解-烧结技术,在氩气气氛炉中,于360?C温度分解反应10分钟,然后分别于420,450,480和510℃温度条件下烧结反应10分钟,制备出具有亚微米级尺寸多孔结构的金属镍薄片。红外光谱分析表明前驱体为较纯的草酸镍粉体,X射线衍射谱分析表明制备的多孔镍薄片样品具有面心立方晶体结构,扫描电子显微镜和原子力显微镜分析表明金属镍薄片样品显现出烧结状的多孔结构,孔结构不规则、不均匀,孔洞尺寸的直径范围为100-1000纳米,孔壁是由直径约100-300纳米的纤维状金属镍构成。  相似文献   

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