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相似文献
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1.
离子注入对金属材料表面的改性   总被引:6,自引:0,他引:6  
简述Cr,Mo,N,Ta及RE等注入离子对金属材料表面的耐蚀改性机制。介绍了多元离子注入和离子束混合技术的性能与用途。  相似文献   

2.
等离子体源离子注入表面改性研究及应用   总被引:8,自引:0,他引:8  
采用等离子体源离子注入技术 (PSII)对W18Cr4V高速钢进行了氮离子注入。用俄歇能谱仪对注入层的成分进行了分析。对注入层的显微硬度和耐磨性进行了测试。用扫描电镜对摩擦磨损表面进行了分析。研究结果表明 :氮在注入层呈高斯分布 ,注入层的硬度和耐磨性均明显提高。对等离子体源离子注入技术在航空液压泵配油盘上的应用进行了研究。应用研究结果表明 :经等离子体源离子注入后的配油盘单位行程内回油量的增加量比未注入前下降约 90 % ,从而明显地增加了配油盘的使用寿命  相似文献   

3.
Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
廖家轩  夏立芳  孙跃 《金属学报》2001,37(9):922-926
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改性层的成分分布及相结构,用激光Raman光谱分析了表面单一碳层的结构,对过渡层元素进行了Gaussian-Lorentzion峰位拟合分析。结果表明,N浓度在注入层呈Gauss分布,C浓度沿注入方向逐渐减小。C的注入使N分布有所拓宽。C在表面还能形成一层单一稳定的400nm的DLC膜。过度层主要由Al4C3,Al2O3,AlN,β-C3N4等组成。改性层总厚度达800nm。  相似文献   

4.
陈惠敏 《表面技术》2008,37(5):79-81
等离子体浸没离子注入(PⅢ)是一种用于材料表面改性的新的离子注入技术.系统地分析和讨论了等离子体浸没离子注入技术的原理和特点:该技术直接将待处理材料浸没在等离子体中进行注入,保留了常规束线离子注入(CBⅡ)技术的主要特点,消除了常规束线离子注入所固有的视线限制,克服了保持剂量问题,使注入装置变得简单和价廉.综述了等离子体浸没离子注入技术在金属材料、半导体材料和高分子材料改性方面的应用.展示了等离子体浸没离子注入技术应用的发展前景.  相似文献   

5.
铝合金等离子体基离子注入氮/钛层的结构   总被引:6,自引:2,他引:6  
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)研究了铝合LY12等离子体基离子注入氮/钛改性层的结构。结果表明。氮在注入层呈高斯分布,而钛沿注入方向逐渐减少。钛的注入对已注入的氮的分布有重要影响。钛的等离子体密度直接影响钛在改性层中的成分、相结构。改性层主要由TiO2,Al2O3,Aln,TiAl3,TiN或Ti组成。  相似文献   

6.
离子注入对金属材料的改性   总被引:2,自引:0,他引:2  
易建军 《表面技术》1997,26(4):28-29,34
阐述了离子注入对金属材料表面机械性能、耐腐蚀与抗氧化性能的改善,并结合应用列举了有关事例,对离子注入改性的机理也作了有益的探索。  相似文献   

7.
近年来离子注入技术在改善生物医用材料综合性能方面应用日渐广泛.本文介绍了该技术的特点和作用机理,同时结合国内外学者的研究成果,对其注入工艺、改性效果及改性机理进行了的综述,预期了离子注入在生物材料改性方面的发展趋势和研究方向.  相似文献   

8.
离子注入改性表面研究方法进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
概述了研究了离子注入改性表面腐蚀性能的电化学、化学浸泡以及物理测试等方法的进展。介绍了各种方法的应用情况。  相似文献   

9.
10.
模具表面改性新技术--金属用离子注入   总被引:1,自引:0,他引:1  
《模具制造》2002,(3):57-57
早在1952年,美国贝尔实验室已经开始研究用离子束轰击技术来改善半导体特性,六十年代,半导体器件生产的水平进一步提高,迫切要求寻找新的方法研制一些特殊用途的新型器件,于是兴起了离子注入技术。近20年来,在微处理机和计算机存储器的集成电路基片生产中,离子注入已经是半导体材料的一种标准掺杂方法,离子注入方法的可靠性、可控性和重复性使得这项工艺成为半导体工业的支柱。在20世纪60年代中期,英国科学家探索了离子束对金属的作用。他们早期的努力集中于离子注入技术对金属材料的摩擦和显微硬度的影响,但不久就转向…  相似文献   

11.
采用新型的离子注入技术-离等子体浸没式离子注入对45钢进行了氮离子注入,测定了注入层的氮浓度俄歇剖面会布,显微硬度和摩擦性能,对磨损表面进行了扫描电镜分析。结果表明,采用等离子浸没式离子注入技术能够获得钢表改性效果。  相似文献   

12.
介绍离子注入表面改性技术的原理和设备,列举了在金属表面改性中的应用。经离子注入后,某些金属材料的耐蚀、耐磨和抗氧化性能可提高近1000倍。离子注入表面改性技术适用于高技术、高精度和高附价的零件  相似文献   

13.
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面制备了TiN、TiC薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对GCr15轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数。  相似文献   

14.
应用金属蒸汽真空弧离子源技术,在硬质合金表面进行了几种不同剂量的C+Cr离子注入,旨在研究其表面改性的情况。结果表明:在试样的表面结构方面,应用X射线衍射、拉曼光谱以及金相显微观察等测试手段,发现有C、Cr、Cr3C2等新相生成,此外C+Cr离子注入还对表面形成类金刚石结构有抑制作用;在试样的表面性能方面,发现注入后的表面硬度、摩擦系数、防腐蚀能力得到了明显的增强。分析认为,注入后的硬质合金表面改性不仅受到新相生成的影响,而且同时也与注入本身的机制有关。  相似文献   

15.
MEVVA源金属离子注入和金属等离子体浸没注入   总被引:5,自引:0,他引:5  
MEVVA源金属离子注入技术和金属等离子体浸没注入技术MePIII的共同特性是强流金属离子注入。它们各具长处,相互补充,共同发展。前者因无鞘层重叠问题和其方向强的特点,特别适用于小件、简单件的大批量金属离子注入处理,能保证处理的均匀性和高效率。后者因无视线加工限制并克服了保持剂量问题,特别适用于处理体积较大、形状复杂的工件,能保证工件所有暴露表面的加工均匀性,调整工作参数,还能进行金属膜沉积和各种  相似文献   

16.
离子注入工模具材料表面改性及其展望   总被引:4,自引:0,他引:4  
介绍了我国及先进工业国家离子注入工模具改性的研究和应用方面取得的成果。展示了我国在离子注入改善工模具材料的抗磨损特性及使改性层韧化方面所做的有益探索和应用实例。作出我国离子注入表面改性的产业化进程已经获得进展的判断 ,并从经济因素和产业政策等方面 ,对推广离子束改性技术 ,加快产业化进程提出了建议  相似文献   

17.
针对镍钛合金(NiTi)进行3种不同浓度Cr离子注入,采用扫描电子显微镜、三维白光形貌干涉仪、小角度掠射X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪分析了离子注入前后镍钛合金表面形貌、粗糙度、组织结构及化合态。结果表明,随着注入Cr离子浓度的增大,镍钛合金表面更加平整,粗糙度变小。所有注入试样表面形成了近60nm厚的注入膜层,主要成分为三氧化二铬和铬碳化合物,并且随Cr离子注入剂量的增加,三氧化二铬和铬碳化合物的含量增加。  相似文献   

18.
简要介绍低温等离子体表面改性的原理和装置,综述它在粘接材料、纺织纤维材料和金属材料等改性中的应用。  相似文献   

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