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为了确立最佳的碱性CuCl2蚀刻工艺条件,提高工作效率,采用烧杯静态吊片蚀刻法,研究了影响蚀刻速率的因素.主要研究结果如下:1)在蚀刻时间为5min时,单因素试验得出的适宜的工艺范围为:Cu2+的质量浓度约为140~180g/L,Cl-的质量浓度为4.8~6.5mol/L,pH为8.2~9.0,操作温度为48~55℃;2)正交试验结果表明,在Cu2+的质量浓度为160g/L,Cl-的质量浓度为5.5mol/L,pH为8.8,操作温度为50℃时,蚀刻状态最好,静态蚀刻速率可达到5.84μm/min. 相似文献
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为了确定测量酸性蚀刻液中低浓度亚铜含量的最佳条件,提高工作效率,采用硫酸高铈法,通过单因素实验研究了几种因素对测定结果的影响,并结合正交实验确定了几种影响因素的最佳取值.结果表明:滴定时间、HCl的浓度、FeCl3,加入量、测定温度和取样量对测定结果的影响比较显著,而Cu2+的含量对测定结果的影响则不大;在常温条件下(20℃)于5 min内检测低浓度亚铜含量(5 g/L),HCl浓度为7 mol/L,配制的FeCl,溶液加入量10 mL,取样量为10 mL,此条件下亚铜含量的测定结果相对误差可达-0.8%, 相似文献
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轴承钢碳化物液析是钢液结晶过程中液相中碳及铬富集而导致碳成分严重偏析,且在枝晶间形成粗大的和难以消除的一次碳化物。在加热过程中,受工艺时间、温度和加热炉温度场不均匀等不合理的生产安排影响,导致碳化物扩散效果不良而产生碳化物液析缺陷。通过采取控制加热温度,控制坯料装、出炉速度,控制稳定炉况,采用热送热装工艺等工艺措施,有效预防和控制了轴承钢碳化物液析缺陷的产生。 相似文献
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从模具制造电火花成形加工实际出发,简述了电火花加工放电过程的机理,全面分析了电火花成形加工中影响工艺指标的因素,提出了稳定放电加工,提高加工质量的相应措施以及获得最佳加工效果的途径。 相似文献
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本文通过对大型预焙槽焙烧启动、后期管理、正常生产期工艺参数控制等生产管理因素对槽寿命的影响进行分析,并提出实用的操作方案和管理思路。 相似文献
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要提高框架结构的抗震性能,必须保证结构构件具有足够的延性,从而保证框架结构具有更好的变形能力,以吸收较多的地震能量.因此,抗震设计时,将框架柱设计成延性构件尤为重要.影响框架柱延性的因素有很多,笔者对其进行了分析阐述,以便在设计工作中,有针对性地采取一些措施来改善框架柱的受力性能,确保框架柱有足够的延性,从而提高柱的抗震性能. 相似文献
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采用熔体分散混合制浆法制备了Al-6.56Si浆料,研究了熔体温度、熔体分散程度、制浆室温度和熔体流量等因素对浆料组织的影响.结果表明,上述4个因素影响熔体的过冷度和温度分布.要获得细小、均匀、非枝晶的浆料组织,熔体温度应不高于650℃、分散器转速应在700~1000r/min、制浆室温度应低于300℃、熔体流量应在6~12kg/min. 相似文献
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采用熔融浇注法制备了硼酸铝晶须强化的水溶性NaCl、KCl盐芯标准抗弯试样,测定了抗弯强度,通过观察断口组织与形貌,初步探讨了盐芯的增强机理以及影响盐芯强度的相关因素。试验结果表明:硼酸铝晶须的加入提高了NaCl、KCl盐芯的强度,但KCl盐芯的增强效果好于NaCl盐芯。陶瓷晶须对盐芯的增强是由于产生了负荷传递效应和裂纹偏转效应,而晶须在基体界面中的拔出效应影响则不显著。晶须与盐芯的界面作用主要为物理结合而非化合结合方式。晶须在盐芯中容易团聚,削弱了晶须对盐芯的强化作用。晶须在NaCl盐芯中强化效果较差的原因在于二者的物理匹配差异大和NaCl盐中含有杂质Mg。 相似文献
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为了开发一种新型碱性蚀刻液以代替传统的氨类蚀刻液,该蚀刻液的组成特点是以铜-乙醇胺络合物、氯离子和碱性pH缓冲液作为主要成分.分别采用静态吊片蚀刻法和动态喷淋蚀刻研究方法探索了其最佳配方和操作条件,结果表明在铜离子浓度为85~95g/L,氯离子浓度3.5~4.5mol/L,乙醇胺浓度4.5~5mol/L,添加剂浓度0.5~1.5g/L,pH为8.5~9.0,操作温度为55~60℃时,其蚀刻状态最佳,相应的静态和动态蚀刻速率分别达61μm/min和20μm/min,与氨类蚀刻液的对应指标相当,且防侧蚀指标更高.结论是该碱性蚀刻液在生产配制、使用和再生循环过程中无废气排放,技术指标优越,具有良好的工业应用前景. 相似文献
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氩气对多晶硅刻蚀的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
报道了用CF4和氩气Ar作为工作气体的ECR反应离子刻蚀多晶硅(poly-Si)技术,研究了Ar气含量的变化对刻蚀速率和各向异性的影响,并对实验结果进行了分析,实验中气压为0.5Pa,混合气体中流量保持50sccm(1cm^3/min standard cubic centimeter/minute),Ar气含量在0~50%范围内变化,对应的刻蚀速率在46~10sccm范围内。 相似文献
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根据硬脆材料具有很高的硬度和脆性特点,建立了超声波研磨加工硬脆材料去除理论模型,从理论上分析了超声波研磨加工硬脆材料的去除原理和加工优势,详细地分析了加工间隙、磨粒大小和超声波声压对材料的去除率和加工质量的影响.研究表明,基于超声波研磨加工在最佳组合条件下能够有效提高工件表面质量,实现精密超精密加工. 相似文献