中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究

等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景。在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表面注入、大面积注入等一系列问题。若上述问题得到解决,将极大的推进等离子体浸没离子注入与沉积技术的工业应用进程。     

GCr15轴承钢的PIIID表面改性工艺研究

采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面制备了TiN、TiC薄膜，并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现：注入时间、注入脉宽和工作气体对GCr15轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析，获取了最佳处理工艺参数。     

生物材料的离子注入表面改性

近年来离子注入技术在改善生物医用材料综合性能方面应用日渐广泛.本文介绍了该技术的特点和作用机理,同时结合国内外学者的研究成果,对其注入工艺、改性效果及改性机理进行了的综述,预期了离子注入在生物材料改性方面的发展趋势和研究方向.     

Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入

本文利用电感耦合的射频激励产生的氮等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入．处理结果发现，随射频功率及氮离子注入剂量增加，Ti6A4V表面显微硬度增加；注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响，而且注入能量不同，最佳注入剂量也相应变化；射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用．     

等离子浸没式注入表面改性

采用新型的离子注入技术－离等子体浸没式离子注入对４５钢进行了氮离子注入,测定了注入层的氮浓度俄歇剖面会布,显微硬度和摩擦性能,对磨损表面进行了扫描电镜分析。结果表明,采用等离子浸没式离子注入技术能够获得钢表改性效果。     

Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入

本文利用电感耦台的射频激蛐产生的氨等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入．处理结果发现，随射频功率及氨离子注入剂量增加，Ti6A14V表面显微硬度增加；注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响，而且注入能量不同，最佳注入剂量电相应变化；射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用。     

材料的等离子体基离子注入表面改性

简要总结了哈工大近10年来在材料的等离子体基离子注入表面改性方面的工作,包括铝合金、钛合金、轴承钢的等离子体基离子注入,等离子体基离子注入混合,以及等离子体基离子注入的工业应用等。     

TC4合金表面全方位离子注入Ag的耐摩擦磨损和抗腐蚀性能

为改善TC4合金表面的耐磨性能和抗腐蚀性能,用等离子体浸没离子注入(PIII)技术在合金表面注入不同剂量的金属银.采用XRD、XPS、AES等方法分析改性层的元素浓度分布和化学组成,研究Ag离子注入后试样表面的耐摩擦磨损性能、抗腐蚀性能、纳米硬度和弹性模量.结果表明,表面改性层中主要存在Ag相,同时含有少量的TiAg;处理后注入剂量为1×10~(17) ions/cm~2试样的纳米硬度和弹性模量分别提高62.5%和54.5%;磨损面积减小57.6%;摩擦系数由基体合金的0.78下降到0.2.在3.5%NaCl溶液中的腐蚀电位升高,腐蚀电流密度明显减小,耐蚀性得到了显著改善.     

离子束表面工程技术的进展*

综述了离子束表面工程技术近期研究进展,重点讨论了等离子体浸没离子注入(PIII)、强流脉冲离子束技术(HIPIB)、等离子体喷涂物理气相沉积(PS-PVD)、电子回旋共振(ECR)等离子体和磁过滤阴极真空弧沉积等表面工程技术;介绍了离子束表面工程在替代传统电镀技术、航空航天材料表面改性、太阳能利用中材料的表面改性、生物医学材料的表面改性等领域的应用。指出了离子束表面工程技术的未来研究方向,即深入研究离子束与材料表面的作用机理,开发高性能结构涂层和功能涂层,发展新的离子束复合表面技术。     

碳离子注入医用Ti性能研究

采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术将碳离子注入Ti基体,研究碳离子注入对材料表面形貌、结构和组成的影响,评价改性材料的表面亲水性、荷电性、力学性能、耐腐蚀性以及细菌黏附能力和细胞相容性,探讨材料的结构和组成对其生物学性能的影响。结果表明,碳等离子体浸没离子注入与沉积(C-PIIID)技术处理的Ti基体表面主要由无定形碳组成。经碳离子注入改性,Ti表面形貌无明显变化,但其疏水性增加,表面负电性提升,表面力学性能和耐腐蚀性能得到提高。基体表面细胞的黏附、铺展和增殖情况良好,同时对大肠杆菌的黏附具有一定的抑制作用。     

离子注入工模具材料表面改性及其展望

介绍了我国及先进工业国家离子注入工模具改性的研究和应用方面取得的成果。展示了我国在离子注入改善工模具材料的抗磨损特性及使改性层韧化方面所做的有益探索和应用实例。作出我国离子注入表面改性的产业化进程已经获得进展的判断 ,并从经济因素和产业政策等方面 ,对推广离子束改性技术 ,加快产业化进程提出了建议     

用高能束流进行钛合金表面改性

概述了利用高能束流进行材料表面改性的技术及其对钛合金表面改性的应用。这些技术包括激光固态相变强化处理,激光表面熔凝处理、激光表面合金化、离子注入、离子束混合和离子束辅助气相沉积。钛合金经高能束流表面改性处理可以提高其表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性能。     

离子注入表面改性技术的应用

介绍离子注入表面改性技术的原理和设备,列举了在金属表面改性中的应用。经离子注入后,某些金属材料的耐蚀、耐磨和抗氧化性能可提高近1000倍。离子注入表面改性技术适用于高技术、高精度和高附价的零件     

镁合金表面耐蚀改性技术

镁及镁合金是一种极具发展潜力的轻质结构材料，但镁合金的耐蚀性较差，因此进行适当的表面处理以提高镁合金的耐蚀性能已成为目前研究的热点。微弧氧化、激光表面处理、离子注入、物理气相沉积(PVD)及等离子体注入沉积(IBAD)是近年来兴起的镁合金表面耐蚀强化新技术，这几种技术在处理镁合金耐蚀性方面已取得了一定的成果。综述了目前国内外应用这几种方法提高镁合金耐蚀性方面的研究现状，并展望了其应用前景。     

Surface modification of ultra-high molecular weight polyethylene for joint prosthesis and sports applications

The recent progresses in the surfaee modification of ultra high molecular weight polyethylene (UHMWPE) using such advanced surface modification technologies as conventional ion implantation (CⅡ), new plasma immersion ion implantation (PⅢ) and novel active screen plasma (ASP), were all reported. Significantly improved wear resistance was achieved, which has great potential for extending the life-span of joint replacement prostheses and enhancing the performance of such sports equipment as skis and snowboards.     

离子注渗复合表面改性技术研究进展

综合国内外研究现状,目前针对离子注渗复合表面改性技术已开展了大量的研究工作,然而还缺少对其进行系统介绍的研究报道。首先,对离子渗技术（离子渗氮、离子渗碳和离子渗硫）、离子注入技术（氮离子注入、碳离子注入和金属离子注入）和离子注渗复合技术的原理进行了介绍。其次,对上述表面改性技术的研究进展进行了综述和总结。最后,针对目前离子注渗复合技术的不足之处,从改善硬件设备、强化作用机理、系统研究复合处理工艺和促进其工业化应用等方面进行解决,提出要充分利用注渗和镀膜技术复合的优势来实现材料结构功能一体化,推动多相复合强化技术的研究与开发,为工业化应用奠定理论基础。     

新型医用镁钙合金锌离子注入改性及其腐蚀行为研究

从冶金学和生物学两方面综合考虑,熔炼出力学性能可满足硬组织植入材料要求的新型医用镁钙合金,并通过Zn离子注入进行了表面改性.采用显微组织观察和力学性能测试对离子注入前后材料的耐蚀性进行了研究.结果表明,随着钙含量的增加,镁钙合金压缩及弯曲模量提高,而压缩及弯曲强度和变形能力略有下降.Zn离子注入后,镁钙合金表面硬度和弹性模量略有增大.合金化和热处理可有效提高镁钙合金在模拟体液(SBF)中的极化阻力(Rp);离子注入后极化阻力下降,但利于镁钙合金表面稳定保护层的形成而使其耐蚀性提高.     

表面改性在陶瓷钎焊和扩散焊领域中的应用

离子注入、物理气相沉积（PVD）、离子辅助沉积（IBAD）,以及近年来发展起来的等离子体基离子注入与沉积技术等不仅在提高材料表面性能如强度、耐蚀耐磨性、改善摩擦性等方面均发挥了重要作用,而且在改善陶瓷材料钎焊和扩散焊焊接性方面也产生了重要的影响。综述了表面改性在陶瓷钎焊和扩散焊领域应用的研究现状,并展望了表面改性技术在材料焊接领域的应用前景。