双频激光干涉仪的原理与应用（四）

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...     

双频激光干涉仪的原理与应用（二）

双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合，可测量距离、直线度、...     

双频激光干涉仪的原理与应用（三）

双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜...     

双频激光干涉仪在大尺寸测量中的应用

本文介绍一种在重型机械行业中利用镗床,用双频激光干涉仪进行大尺寸测量的方法.     

双频激光干涉仪中的数字相位计设计

基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号之间的相位差角度,间接测量激光干涉仪的光程差信息。被测信号经过光电接收器以及A/D模数转换成数字信号送到FPGA芯片中,与FPGA内建的查找表参考信号做正交相关法解调运算,得到一组X-Y值,再利用CORDIC算法计算arctan函数获取相位差,最后计算出干涉仪的光程差,算法的全过程使用FPGA硬件实现。实验结果表明,该相位计使双频激光干涉仪的相位差测量精度在0.01°以内。     

HP5528A频激光干涉仪动态误差补偿

建立了ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪的动态误差模型,根据模型可补偿动态误差,使ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪可用于测量高速运动物体的位移。     

HP5528A双频激光干涉仪动态误差补偿

建立了ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪的动态误差模型,根据模型可补偿动态误差,使ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪可用于测量高速运动物体的位移。     

高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究

以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。     

双频激光干涉仪在天文望远镜测试中的应用

本文介绍了双频激光干涉仪的特性及其在天文望远镜测试中的应用。     

激光干涉仪的基本类型——激光干涉仪技术系列综述之一

分析了几种典型的激光干涉仪系统的原理和特点,介绍了基于双折射—塞曼双频激光器,输出频差在3-40MHz范围,是外差激光干涉仪最合适的使用频段,具有很好的应用前景。     

激光干涉仪的信号处理系统——激光干涉仪技术综述之三

介绍了激光干涉仪的信号处理方法,分析了单频激光干涉仪中消除直流漂移的方法,双频激光干涉仪中的减法器、频率解调、相位解调技术的特点。     

关于ISO230—2分析软件的设计

我公司生产的数控机床和加工中心等高精度机床的定位精度测试 ,都采用美国ＨＰ双频激光干涉仪来完成。ＨＰ双频激光干涉仪的高准确度、高效率为定位精度测试带来了极大便利 ,但它只是将所测计算值打印到终端。而我公司已通过ＩＳＯ 90 0 0认证 ,机床的检验必须采用国际标准 ,显然 ,ＨＰ双频激光干涉仪测量系统所提供的数据不能满足需要 ,即该软件系统虽然配置了计算机处理装置 ,但没有将这些数据作定量处理 ,也没有很好地作定性分析。为此本文对ＩＳＯ 2 30 2标准规定的计算式进行编程设计。　　一、测量系统产生的数据文件分析在ＤＯＳ环…     

双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果，测量１００ｍｍ直径时测量系统的误差〈１０μｍ。     

应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度

介绍了应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度的原理、方法及测量误差分析。     

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］,光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］,可得如下关系式：１．...     

5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展

介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸。     

5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展

介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸.     

应用双频激光干涉仪检验数控制机床定位精度

介绍了应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度的原理、方法及测量误差分析。     

差动位移传感器的激光干涉法自动检定

介绍一种由双纵模双频激光干涉仪、微机、被检传感器及数据采集A／D卡、微机接口数据采集卡、机械及电动机构、步进电机驱动卡等组成的差动式位移传感器自动检定系统。实验证明，该检定系统具有良好的性能。     

激光干涉仪技术及发展

由于激光具有极好的时间相干性 ,其相干距离可以达到数公里 ,所以自激光问世以来 ,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注 ,其应用范围不断扩展 ,激光干涉仪技术也不断发展 ,出现了各种形式的激光干涉仪。　　1　单频激光干涉仪和外差激光干涉仪尽管存在各种形式的激光干涉仪 ,但从原理上讲 ,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machel son干涉仪系统 ,图 1为单频激光干涉仪原理示意图 ,分光器BS将激光分为 2束 ,一束射向定镜R ,另一束射向动镜M ,当动镜M移动时 ,经R和M的反射…