二维方框形结构PSD有限元分析

用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响。得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值ν决定了PSD的线性度,ν越大,器件的线性越好,比较适当的取值范围是1 0 <ν<2 0 ,PSD位置换算式中系数k的最佳取值不一定为器件长度之半,负载电阻的存在将导致附加位置误差。     

位置敏感探测器(PSD)的非线性补偿技术

介绍了二维枕型位置敏感探测器(PSD)的工作原理和非线性的成因.根据PSD的非线性特点提出了双边线性插值补偿法对PSD的非线性进行补偿.在不增加硬件成本的前提下大幅度提高了PSD的线性度,扩大了PSD的有效使用面积.实验表明:补偿后PSD获得了很好的线性度.     

提高四边形电极结构二维PSD线性度的研究

在对单表面分流四边形电极结构二维 PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上 [1 ] ,从理论上计算得到了这种结构 PSD的位置修正因子 ,并提出了一种对这种结构 PSD的位置非线性进行修正的方法。初步实验取得了非常满意的结果 :经过修正后 ,在较大尺寸 (13mm× 13mm)器件上实现了 6 0 %光敏面范围内的位置非线性均方根误差 0 .15 % ,位置检测均方根误差从原来的±10 10μm减小到± 2 0μm。最大误差从± 15 0 0μm下降到± 5 0μm。由于进行了归一化处理 ,该方法适用于这种结构不同尺寸的 PSD,特别具有实用意义。     

光电位置传感器PSD特性及其应用

对光电位置传感器 PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述 ;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用 ;最后分析了造成系统误差的主要原因     

光电位置传感器PSD特性及其应用

对光电位置传感器PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因.     

光电位置传感器PSD特性及其应用

对光电位置传感器PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因.     

位置敏感探测器(PSD)的进展

阐述了 PSD 的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年日本滨松光子学公司的一维和二维 PSD 的技术数据。PSD 的研制品中介绍了非晶硅薄膜 PSD 结构和主要光学、电学特性;介绍了多条形 PSD 结构及位置分辨率等性能指标;最后还叙述了大面积二维 PSD 及 MOS 型一维 PSD 等的性能和参数。     

基于位置敏感探测器的六自由度精密位姿测量系统

位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)是一种高精度的二维位移测量传感器,利用三片二维PSD的组合实现空间六自由度相对运动的位移和角度测量。测量系统主要包括三片PSD传感器(包括PSD光敏面和发光管)、低噪声的信号调理和AD采集电路,采用三片PSD正交布局方案,通过PSD光敏面的光点位置计算相对运动的位移和角度。设计了六自由度的PSD标定测试系统,用于PSD测量系统中心偏移和发光管安装误差的标定测试。测试结果表明,PSD测量系统的测量范围优于位移±10mm、角度±2.5°,标定后PSD测量系统的噪声误差为位移0.1mm、角度0.02°,测量系统的绝对位移误差小于0.5mm、角度误差小于0.14°,满足系统0.5mm和0.5°的指标要求。此外,对PSD传感器的环境适应性进行了评估。PSD测量系统具有量程宽、精度高、线性度好的优点,成功应用于天舟1号货运飞船微重力主动隔振装置的相对运动测量中。     

位置敏感探测器（PSD）的研究进展

回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD。并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望。     

PSD的性能分析及其应用

介绍了一维PSD和二维PSD的结构,并对PSD的特性进行了分析;研究了PSD在火炮射击性能测试中的应用及其系统方案;最后分析了系统中影响测量精度的各种因素。     

PSD抗杂光干扰措施的研究

光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上光斑位置进行检测的光电器件,基于光电位置敏感器件可以构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器.介绍了位置敏感探测器(PSD)的工作原理及其性能,分析了PSD工作时杂散光对其测量的影响,提出其相应解决方案.     

基于PSD技术的位置自动检测系统

介绍一种以位置敏感器件(Position Sensitive Detector，PSD)为核心构成的位置自动检测系统。概述了光电位置传感器的工作原理和特点，分析了输出信号与位置参数的关系．论述了信号和数据处理系统的硬件组成与软件功能．并给出了系统的主要参数。     

激光准直测量中二维位置敏感器件非线性修正算法研究

根据光电位置敏感器件(Position sensitive detector,PSD)的原理和光点位置方程分析了其非线性成因和特点,提出了用神经网络的共轭梯度算法对PSD的非线性进行补偿。以网络总体平均误差为目标函数,以权值和阈值为设计变量,采用真实的梯度法和共轭梯度法对网络参数优化,实现了权值和阈值的快速准确计算,并将该方法应用于PSD线性化,从而使PSD的B区(边缘区域)获得了与A区(中央区域)近似的线性度。故在不增加成本,不改变测量设备复杂度的情况下,扩大了测量范围,提高了B区的测量准确度及数据的置信度。     

改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定

分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±0·02mm内。     

双PSD实现长直导轨四自由度测量的新方法

介绍基于双PSD实现大长度宽范围直线导轨俯仰角、偏摆角以及空间二维直线度等四个自由度在线测量的新型方法,对其测量原理进行了分析和验证,并建立求取长直导轨俯仰角、偏摆角的数学模型和基于激光空间偏角修正基础上的二维直线度的数学模型;讨论影响测量过程的各种因素,提出消除其影响所应采取的措施。     

位置敏感探测器（PSD）的进展

阐述了PSD的主要特性及其进展，文中的商业产品参数，来自于1997年的日本滨松光子学公司的一维和二维PSD的技术数据。PSD研制品中介绍了非晶硅薄膜PSD、多条形PSD、大面积二维PSD及MOS型一维PSD等的性能和参数。     

基于PSD的电振动台特性检测系统研究

详细介绍了基于位置敏感传感器的电振动台特性检测系统的研究。该系统采用自准直光路原理,利用PSD对位置的高分辨能力特性,对电振动台微小角扭动进行精密测量。数据经高速AD采样后送入计算机,通过分析即可获得电振动台在各种振动模式下角速率时域频域特性。对系统存在的各误差分析得出,该系统200H z频率处角速率分辨力为19.8×1-0 3(°/s)。     

位敏探测器PSD特性及其在三角测量中的应用

对PSD位敏探测器的结构、原理、特性加以分析和概述;着重论述了PSD在光学三角测量中的具体应用;详细分析了造成系统误差的根本原因.