国内外超精密加工技爿与机床的发展状况

1前言 超精密加工是指亚微米级和纳米级精度的加工。超精密加工主要包括3个领域：（1）超精密切削加工,如金刚石刀具的超精密切削,各种镜面及激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。（2）超精密磨削和研磨加工,如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。（3）超精密特种加工,如对大规模集成电路芯片图形的电子束、离子束刻蚀加工,线宽可达0．1um。还有对扫描隧道电子显微镜（STM）加工,线宽可达2～5nm。     

综论超精密加工技术的发展

介绍超精密加工技术的发展,并展望其前景;阐述超精密切削加工及超精密砂轮磨削加工中的核心技术,对超精密加工技术的研发和创新有参考意义。     

金属加工机械制造业关键技术分析——超精密加工技术

１．技术概要机械制造技术在提高精度方面，从精密加工发展到超精密加工，其精度从微米级提高到亚微米级，乃至纳米级。就目前的加工技术而言，超精密加工技术是为了获得零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙度均优于亚微米级的综合技术措施，并向纳米级加工发展。纳米级加工是指零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙均为纳米级（＜１０nm，即＜０．０１μm）。超精密加工主要包括超精密切削（车、铣）、超精密磨削、超精密研磨（机械研磨、机械化学研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射加工等）以及超精密特种加工（电子束、离子…     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。     

精密和超精密加工技术的新进展

精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展。世界各国都极为重视,投入很大力量进行开发研究,故近年来发展迅速。本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展:精密和超精密机床的新发展,超精密切削机理和金刚石刀具的研究,精密镜面磨削和研磨技术的新发展,非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展;提出我国应重视精密加工的研究,加大投入,加速提高我国精密和超精密加工技术水平。     

超精密加工现状综述

超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段.精密光学、机械、电子系统中所用的先进陶瓷或光学玻璃元件通常需要非常高的形状精度和表面精度(如0.1 nm级表面粗糙度)及较小的加工变质层.掌握超精密加工过程中材料去除规律和损伤层特性对提高加工的稳定性与经济性十分重要.对超精密加工中的超精密切削、超精密磨削和超精密研磨抛光技术进行综述,重点介绍各种典型加工方法及其材料去除机理.从加工精度和加工效率角度对上述几类超精密加工方法进行比较,介绍以实现高效精密加工为目的的半固着磨粒加工技术.对超精密加工的发展趋势进行预测.     

超精密加工技术及其发展方向--访西安交通大学副校长、精密工程研究所所长蒋庄德教授

20世纪60年代,由于航天等尖端技术发展的需要,美国首先开发出称为“SPDT”（Single Point Diamond Turning）的单点金刚石刀具的超精密切削技术,成功切削出电解铜金属镜面,并研制出相应的空气轴承主轴的超精密机床,专门用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件等.超精密加工技术经过数十年的发展和演变,日趋成熟,不论是金刚石工具、超精密机床,还是超精密加工工艺都已形成了一整套完整的超精密制造技术系统.     

超精密加工技术的发展与展望

一、前言本世纪的精密加工发展到超精密加工历程比较复杂且难度大 ,目前超精密加工日趋成熟 ,已形成系列 ,它包括超精密切削、超精密磨削、超精密微细加工、超精密计量等。尽管超精密加工迄今尚无确切的定义 ,但是它仍然在向更高的层次发展。早在 80年代 ,美国ＬＬＮＬ国家实验室等就提出了ＰＯＭＡ(ＰｏｉｎｔＯｎｅＭｉｃｒｏｍｅ ｔｅｒＡｃｃｕｒａｒｙ)计划 ,主要是为了加工直径80 0ｍｍ的曲面精度为 0 .1μｍ。 1982年 ,在国际生产工程学会 (ＣＩＲＰ)的年会上 ,日本的谷口纪男教授发表了题为“超精密加工和超精整工艺的现状与未来…     

超精密加工用刀具

随着机械产品,尤其是电子产品向轻、薄、短、小化的方向迅速发展,对超精密加工要求也越来越高,超精密加工的重要性和迫切性正在被人们所认识。超精密加工的重要组成部分是切削加工,工具行业为适应这一趋势,已开发出各种新型产品。本文以切削加工为中心,介绍近年来超精密加工用刀具的开发和应用状况。     

英国克兰菲尔德精密工程研究所(CUPE)的超精密加工与测量技术(续)

<正> 三、超精密加工技术发展超精密加工设备,不仅要求研制者掌握可靠的基础技术,同时务必对相关加工工艺有详细了解。CUPE在开发精密工程所需的基础技术的同时,对切削机理也进行了大量研究,在精密和超精密加工技术方面积累了丰富经验。特别是在单刃金刚石车削和金刚石砂轮