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泰伯效应与光束准直性测量 总被引:6,自引:1,他引:5
本文从球面波传播的一般理论出发推论了分别在发散、会聚球面波及其平面波照明下的TALBOT效应的原理。运用付里叶频谱分析方法论述了在扩展光源照明下产生的TALBOT效应。讨论了利用TALBOT效应产生的莫尔条纹的特点。最后,概述了利用TALBOT效应测量光束准直性的几种方法及提高测量精度的某些途径。 相似文献
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介绍了一种新的全自动焦度仪的光学系统的设计原理,即采用微珠双透镜准直系统。该系统改善了光学部分的准直性,提高了仪器的检测精度;另外由于被测镜片作为光学系统的一个组成部分暴露在外界环境中,太阳光及各种杂散光容易影响系统正常工作,即采用干涉和截止滤光技术研制出专用消杂光器件,提高了仪器的环境适应性和系统的信噪比。该系统能准确地测量眼镜片的度数,技术指标达到国家相关检验标准。 相似文献
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Fizeau激光波长计测量脉冲激光波长 总被引:2,自引:0,他引:2
详细讨论了采用单片机控制的Fizeau波长计测量脉冲激光波长的两种方法,包括脉冲激光同步测量方法与软件判别捕捉方法,文章最后给出了系统的测量结果,其测量精度与测量连续激光相同,即绝对精度<10-6,分辨率<10-7. 相似文献
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大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 总被引:2,自引:1,他引:1
文章叙述了大规模集成电路(LSI)等离子和反应离子刻蚀原理及在线监测刻蚀过程的基本方法。详述了用等离子发射光谱法进行LSI离子刻蚀过程监测的具体实施和实验结果,得到了80Å的动态监测精度和0.3cm2的最小可监测面积。最后文章还讨论了影响监测精度的因素。 相似文献
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基于DSP的多叶准直器叶片位置控制精度的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对肿瘤治疗病灶靶区的要求,描述了适形放射治疗装置中多叶准直器的结构和工作原理.提出了将数控系统中运动控制理论应用于多叶准直器叶片位置的精确控制,利用DSP FPGA的前馈-反馈控制方式实现,并进行了仿真模拟,结果表明该方法能较好地满足多叶准直器叶片位置控制的精度. 相似文献
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根据放射治疗系统中多叶准直器(Multi-leaf Collimator,简称MLC)叶片位置精度的控制要求,描述了适形放射治疗装置中多叶准直器的结构和工作原理。本文把驱动多叶准直器叶片运动的无刷直流电机作为被控对象,并对其进行了建模。设计了一种基于模糊控制的自适应PID控制器,该控制器通过模糊控制规则在线调整其三个参数,以便精确地控制电机,确保多叶准直器叶片的到位精度。仿真结果表明所使用的方法能较好地满足多叶准直器叶片位置控制的精度要求,各项控制指标明显优于传统整定方法得到的结果。 相似文献
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本文根据Talbot成像公式推导出计量光栅在发散光照明下,距光栅出射面不同距离处的光强分布及光学倍频率,分析了影响系统精度的因素。 相似文献
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随着糖尿病的发病率逐年增高,为避免传统有创血糖监测血糖的痛苦,无创血糖监测已经越来越引起人们的重视。无创血糖检测技术就是在不对人体造成伤害的条件下检测人体血糖的方法。该方法可以避免传统试纸测试带来的痛苦,降低检测成本,提高病人测量的依从性,既能增加血糖检测的频率又能获得血糖的动态变化趋势,从而降低了患者糖尿病并发症的发生,同时可以避免针刺可能带来的感染,对于糖尿病人的自我监测具有非常重要的意义。详细介绍了当前各种无创血糖检测技术的原理,分析了各种技术的优缺点,并提供了国内外无创血糖仪的最新成果,还介绍了本人所在课题组所研发的基于代谢守恒原理的无创血糖监测产品。 相似文献
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为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统。该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成。以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量的计算;并通过对系统像差的分析,提出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法。理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1.6 cm的系统,平偏测量精度可达0.02 mm,角偏测量精度可达9.5″。因此,该系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要。 相似文献
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Liu Haijiang Wan De'an Department of Mechanical Engineering Tongji University 《机械工程学报(英文版)》1999,12(4)
0 INTRODUCTIONFortheneedofthehighscientifictechnologydeveloping,producingtechnologynotonlyneedsaccuracyandrapidefficiency,butalsothemeasuringtechnologythatistheproducingtechnology’sbackingandguaranteeneedsthemorehighaccurcysoastogettheproductionhigh… 相似文献
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视觉坐标测量中直接光学法透镜光学中心的标定 总被引:2,自引:2,他引:0
介绍了目前视觉坐标测量系统中摄像机成像中心标定的一般方法,即变焦距法、径向准直约束法和直接光学法,比较了上述方法的优缺点.详细介绍了直接光学法的原理以及实际标定过程的步骤,并进行了实验验证.实验结果表明直接光学法具有精度高、重复性好等优点,采用的标定过程可行. 相似文献
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为了进一步提高激光光束用作直线基准的精度,建立了基于反射镜平动式光束稳定器以及两点式光束漂移分离法的高精度激光光束准直系统。首先,对系统中基于反射镜平动的光束稳定器进行研究,对其光束偏转原理以及影响因素进行分析,并对两点式光束漂移分离方法进行介绍。然后,对光束偏转单元的分辨力以及偏转范围、所使用的压电陶瓷非线性和迟滞特性、以及光束偏转单元的频率响应特性进行实验测试。最后,对该激光准直系统的激光光束准直精度进行测试。实验结果表明本文提出的光束偏转单元在120μrad范围内的光束偏转分辨力可以达到5 nrad,频率响应特性高于2 kHz;最终激光准直系统的准直精度在二维方向上分别达到1.9×10^-8 rad和2.1×10^-8 rad,相对于现有技术约提高了3倍,满足激光光束用作高精度直线基准的需求。 相似文献