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在软轴型单晶炉实际拉晶过程中发现,单晶炉提拉系统在其工作转速达到13~14r/min范围时,发生明显晃动,严重影响了单晶炉拉晶质量和生产效率。为解决此问题,本文选取单晶炉提拉系统为研究对象,建立提拉系统不同软轴长度和不同摆锤质量的有限元模型,对其进行结构模态分析求出固有频率及其对应的临界转速。分析结果表明,提拉系统软轴长度和摆锤质量在某些范围内,其临界转速接近13~14r/min。因此,提拉系统软轴的长度和摆锤重量是引起系统晃动的可能原因,在实际拉晶生产中为了避免提拉系统的晃动,需要选择适当长度和重量的软轴和摆锤。 相似文献
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根据硅单晶炉真空系统技术特点,从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善,并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制。结合工业PLC和人机界面进行编程,在实际工业中的应用表明,该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性,拉出高品质单晶。 相似文献
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为解决固体激光器工作时光学晶体产生的热沉积问题,保证其工作性能稳定,提出了一种基于半导体制冷器(TEC)的高控温精度、大控温范围光学晶体温度控制方案。分析了TEC的工作特性和光学晶体的热效应与传热机理,将TEC工作过程中自身温度变化引起的电气特性改变与光学晶体温度的变化同时纳入控制环节,建立了温度-电流双闭环温度控制模型,设计并完成了一套高控温精度、大控温范围的光学晶体温度控制系统。实验结果表明:本系统在-15~120℃的温度控制范围内,可以迅速稳定在任一设定的温度点,其控温精度优于±0.002℃;当设定温度和实际温度之间的偏差在20℃以内时,其收敛稳定时间小于60s,可以满足固体激光器中光学晶体对控温范围与精度的要求。 相似文献
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基于遗传算法的单晶炉热场温度控制系统 总被引:1,自引:2,他引:1
介绍了以AT89C51单片机为核心的单晶炉热场温度控制系统的设计与实现方法,提出了一种基于遗传算法的PID参数寻优方法。仿真研究结果表明,系统具有良好的控制性能。 相似文献
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基于Web的单晶生长炉远程监控系统 总被引:1,自引:1,他引:0
为实现对单晶生长炉的远程大范围的监控,改进了原有单机串口通信的监控方式,采用了新型串口服务器组网方式,结合PLC通信技术和Web技术,设计了一种基于Web的远程监控系统,具体介绍了系统的组网方式、程序设计和主要功能。试验结果表明,该系统运行稳定可靠,能同时为多用户提供单晶炉远程监控服务。 相似文献
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为了确定位于石英晶体入射面内光学轴的位置,采用自然光沿石英晶面以一定的入射角斜入射,并根据自然光在石英晶体内的传播特性,测量出o光和e光出射光线间的垂直间距以及界面上两出射光点的间距,运用几何作图法,通过计算给出光学轴位于石英晶体入射面内的情况下的理论一般公式,且以实验得以验证,从而提供了一种可用光学法确定光轴位置的方法。 相似文献