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光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
提高金刚石薄膜的附着力和光洁度是实现CVD金刚石涂层在工模具和耐磨器件领域中广泛应用的关键因素。采用热丝CVD法在光滑WC—Co硬质合金基体表面沉积金刚石薄膜,研究了渗硼预处理新方法对光滑衬底表面抑制Co催石墨化作用和保证金刚石涂层附着力的效果。研究结果表明,采用渗硼预处理方法既能避免研磨、刻蚀和化学腐蚀等加工方法对光滑衬底表面的严重损伤,又能有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,获得了满足附着力要求的光滑金刚石薄膜,对于拓宽金刚石薄膜的应用领域具有重要意义。 相似文献
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改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用热丝CVD法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金衬底上沉积金刚石薄膜,在分析了工艺条件(衬底温度、碳源浓度、反应压力)对金刚石薄膜性能的影响的基础上,提出了分步沉积法改善金刚石薄膜涂层刀具性能的新工艺.结果表明,合理控制工艺条件的新工艺对涂层薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力、刀具的耐用度及切削性能有显著影响,对获取实用化的在硬质合金刀具基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义. 相似文献
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轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。 相似文献
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提高金刚石薄膜的表面质量和附着力是实现CVD金刚石涂层在耐磨器件领域中广泛应用的关键因素.本文通过优化沉积工艺参数,采用直拉丝化学气相沉积法在WC- Co硬质合金拉丝模内孔表面沉积金刚石薄膜.检测了该涂层的表面形貌、薄膜质量以及表面粗糙度,并把所制备的CVD金刚石薄膜涂层拉丝模具在拉拔铜线材生产线上进行了应用试验,结果... 相似文献
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提高CVD金刚石薄膜刀具膜—基附着力的工艺方法评述 总被引:7,自引:2,他引:5
提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素。本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜—基附着力的典型工艺方法 ,评述了WC Co基底预处理及沉积工艺对CVD金刚石薄膜与基底之间附着力的影响 相似文献
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以氢气和丙酮为原料,采用电子增强化学气相沉积(EACVD)法,利用改进了的化学气相沉积(CVD)装置在复杂曲面硬质合金(WCCo)钻头表面涂覆一层金刚石涂层.研究了适用于复杂曲面金刚石涂层刀具衬底预处理新方法和CVD涂层新工艺,并对碳化硅颗粒增强铝基复合材料进行了试验研究,研究结果表明,所制备的复杂曲面金刚石涂层刀具的耐用度和切削性能得到了显著提高. 相似文献
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衬底温度是热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜的重要参数之一,在拉丝模表面沉积CVD金刚石涂层时,均匀的衬底温度场显得尤为重要.对HFCVD系统中制备CVD金刚石涂层时拉丝模衬底温度场进行数值分析,得到了拉丝模温度场的分布和热丝参数对衬底温度场的影响规律,为CVD金刚石涂层拉丝模的制备提供重要指导. 相似文献
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研究了采用强电流直流伸展电弧等离子体CVD技术,以SiC过渡层为预处理工艺,直径为0.8mm的微径铣刀上纳米金刚石涂层的制备。通过铣削6063DL31铝合金并与未涂层的微径铣刀进行对比,验证SiC过渡层+金刚石涂层微径铣刀的切削性能。结果表明,SiC过渡层可以有效降低Co对金刚石涂层沉积的不利影响,改善金刚石涂层的附着力,同时,铝合金铣削试验表明,金刚石涂层微径铣刀可以有效降低切屑的黏结和毛刺的形成,并且显著降低加工工件的表面粗糙度;因此,薄SiC过渡层可以作为预处理工艺应用于微径铣刀上金刚石涂层的制备。 相似文献
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《机械工程学报(英文版)》2018,(6)
Lower surface roughness and sharper cutting edge are beneficial for improving the machining quality of the cut?ting tool, while coatings often deteriorate them. Focusing on the diamond coated WC?Co milling cutter, the abrasive flow machining(AFM) is selected for reducing the surface roughness and sharpening the cutting edge. Comparative cutting tests are conducted on di erent types of coated cutters before and after AFM, as well as uncoated WC?Co one, demonstrating that the boron?doped microcrystalline and undoped fine?grained composite diamond coated cutter after the AFM(AFM?BDM?UFGCD) is a good choice for the finish milling of the 6063 Al alloy in the present case, because it shows favorable machining quality close to the uncoated one, but much prolonged tool lifetime. Besides, compared with the micro?sized diamond films, it is much more convenient and e cient to finish the BDM?UFGCD coated cutter covered by nano?sized diamond grains, and resharpen its cutting edge by the AFM, owing to the lower initial surface roughness and hardness. Moreover, the boron incorporation and micro?sized grains in the underly?ing layer can enhance the film?substrate adhesion, avoid the rapid film removal in the machining process, and thus maximize the tool life(1040 m, four times more than the uncoated one). In general, the AFM is firstly proposed and discussed for post?processing the diamond coated complicated cutting tools, which is proved to be feasible for improving the cutting performance 相似文献
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概述了CVD金刚石薄膜涂层工具的研究现状 ,分析了基体材料及其预处理方法对涂层工具膜基结合力的影响 ,并对影响工具切削性能的因素作了综述。 相似文献
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Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研究 总被引:3,自引:1,他引:3
研究了电沉积层作为过渡层沉积CVD金刚石膜的工艺,在硬质合金的Cr电沉积层上用热丝法沉积出CVD金刚石膜。利用SEM分析了电沉积层的形貌,利用EPMA分析了H等离子处理后电沉积层的断面,利用SEM和Raman分析了金刚石膜的表面形貌、成分,利用XRD分析了过渡层和CVD金刚石膜的结合面.利用压痕法研究了金刚石薄膜与基体的结合力。结果表明,H等离子处理使得硬质合全与Cr镀层成为冶金结合,提高了电沉积层的结合强度;在Cr过渡层与金刚石膜之间形成的Cr3C2和Cr7C3等碳化物有利于金刚石的成核和膜基结合强度的提高。 相似文献