共查询到20条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
2.
针对自行研制的真空紫外-极紫外(VUV–EUV)波段反射率计运行需要,基于LabVIEW软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法,并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户界面和数据采集方法。提出的新数据采集算法有效提高了弱信号条件下反射率测量的可靠性。利用该控制与数据采集系统,对Si基板开展了准直校准与反射率测量实验。结果表明,在7.5°~87.5°范围内直通光电流信号为20 pA时仍能获得可靠的反射率,且基于入射光监测方法的反射率测量实验结果与理论计算相符更好。除在布儒斯特角附近信号电流小于本底电流0.7 pA时,反射率重复测量误差优于1.6%。 相似文献
3.
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件高精度反射率测量的需要,建立了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线-极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson 247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪波段范围1-125nm,光谱分辨率小于0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%。 相似文献
4.
5.
6.
小型高精度软X射线-极紫外反射率计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1~125nm,光谱分辨率〈0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%,实现了对多层膜反射率的高精度测量。 相似文献
7.
8.
紫外-真空紫外波段的Al+MgF_2膜 总被引:1,自引:1,他引:0
Al+Mg F2 膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件下 Al+Mg F2 膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了 Al+Mg F2 膜的制备工艺 ,利用 Seya-Namioka紫外 -真空紫外反射率计测得 Al+Mg F2 膜的反射率在 1 50 nm~ 34 0 nm的波段上高于 80 %。Al+Mg F2 膜制备一年后 ,其真空紫外波段的反射率未有明显变化 相似文献
9.
本文介绍我们首先使用一块软X射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软X射线反射率计的软硬件结构、功能与特点,并报告了实测结果。 相似文献
10.
11.
本文介绍了负荷传感与LUDV液压系统,分析了在单泵多执行机构时负荷传感与LUDV液压系统的工作特点,并在此基础上建立了负荷传感变量泵、负荷传感液压系统与LUDV液压系统的AMESim模型,进行了仿真分析。 相似文献
12.
简要介绍了决策支持系统(DSS)的产生和发展,论述了决策支持系统的系统结构和3个技术层次,辨析了DSS与管理信息系统(MIS)的区别和联系,重点研究了基于DSS的模型库和方法库的设计与实现。阐述了模型库系统的3个组成部分和方法库系统的体系结构,并对模型库与方法库之间的关系调用问题进行了详细分析。提出了模型库系统调用方法库中方法的实现方案。本文介绍的内容,对DSS应用具有一定的参考价值。 相似文献
13.
Chain drive system is widely used in the conditions of high-speed, overload, variable speed and load. Many studies are focused on the meshing theory and wear characteristics of chain drive system, but system design, analysis, and noise characteristics of the chain drive system are weak. System design and noise characteristic are studied for a new type Gemini chain of dual-clutch automatic transmission. Based on the meshing theory of silent chain, the design parameters of the Gemini chain system are calculated and the mathematical models and dynamic analysis models of the Gemini chain system are established. Dynamic characteristics of the Gemini chain system is simulated and the contact force of plate and pin, plate and sprockets, the chain tension forces, the transmission error and the stress of plates and pins are analyzed. According to the simulation results of the Gemini chain system, the noise experiment about system is carried out. The noise values are tested at different speed and load and spectral characteristics are analyzed. The results of simulation and experimental show that the contact forces of plate and pin, plate and sprockets are smaller than the allowable stress values, the chain tension force is less than ultimate tension and transmission error is limited in 1.2%. The noise values can meet the requirements of industrial design, and it is proved that the design and analysis method of the Gemini chain system is scientific and feasible. The design and test system is built from analysis to test of Gemini chain system. This research presented will provide a corresponding theoretical guidance for the design and dynamic characteristics and noise characteristics of chain drive system. 相似文献
14.
15.
16.
分析了无人机电动舵机伺服系统各组成部分的原理,利用Matlab/Simulink工具建立了整个舵系统数学模型,并对舵系统的输出力矩、转速以及位置的动态响应进行了仿真。之后建立了舵系统的传递函数模型,对舵系统的稳定性指标进行了仿真分析。结果表明通过两种方式对电动舵机回路进行建模分析,有利于更全面准确的了解系统动态特性,减少了舵系统设计难度,增强了系统的可靠性。 相似文献
17.
The dynamics of an ultrasonic rod system with a piezoelectric vibration exciter are examined. Based on the analysis of the equations of vibrations of the electromechanical system, methods of resonance adjustment are described. The main features of constructions and system operation in resonance conditions are identified. Methods for the selection of optimal system parameters causing maximal amplitude of variations of the working system element are found. 相似文献
18.
介绍了滚珠丝杠激光动态测量系统的设计,包括动态测量原理,激光测量系统的布局,主轴伺服电动机的控制等;并制定了滚珠丝杠激光动态测量仪的检定规程,对该测量仪进行动态测量,给出了测量数据与结果统计分析。该系统检测效率高,操作性强,性能可靠,已在陕西汉江机床有限公司稳定运行。 相似文献
19.