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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作,反射率计真空室直径φ800mm,长1200mm,工作波段25~100nm,更换光源和探测器可扩展到1~250nm,角分辨率0.03°,扫描范围0~90°。  相似文献   

2.
针对自行研制的真空紫外-极紫外(VUV–EUV)波段反射率计运行需要,基于LabVIEW软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法,并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户界面和数据采集方法。提出的新数据采集算法有效提高了弱信号条件下反射率测量的可靠性。利用该控制与数据采集系统,对Si基板开展了准直校准与反射率测量实验。结果表明,在7.5°~87.5°范围内直通光电流信号为20 pA时仍能获得可靠的反射率,且基于入射光监测方法的反射率测量实验结果与理论计算相符更好。除在布儒斯特角附近信号电流小于本底电流0.7 pA时,反射率重复测量误差优于1.6%。  相似文献   

3.
尼启良  刘世界  陈波 《光学精密工程》2008,16(10):1886-1890
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件高精度反射率测量的需要,建立了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线-极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson 247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪波段范围1-125nm,光谱分辨率小于0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%。  相似文献   

4.
使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计   总被引:6,自引:4,他引:2  
建立了一台使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计,并给出了使用该反射率计测量软X射线多层膜反射率的方法.与金属靶等离子体光源相比,由于使用了气体靶等离子体光源,该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点.针对单色仪的二级光谱对反射率测量结果产生的影响,提出了修正方法.并用此方法对实测的工作波长为17.1nm软X射线多层膜的反射率曲线进行了修正.  相似文献   

5.
合肥同步辐射反射率测量装置   总被引:3,自引:3,他引:0  
分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统.该反射率计工作波长5~100nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度.样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ-2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10-6~10-8Torr的真空度.对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式.  相似文献   

6.
小型高精度软X射线-极紫外反射率计   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1~125nm,光谱分辨率〈0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%,实现了对多层膜反射率的高精度测量。  相似文献   

7.
针对光通信器件端面剩余反射率的测量的需要,介绍了剩余反射率的测量原理和实现方案,对超低剩余反射率的测量中的关键技术作了分析说明,按照该方案设计制作出超低剩余反射计,其可测量剩余反射率范围10dB~70dB,测量精度小于1dB,光源稳定度小于0.003dB/h,光功率测量范围-70dBm~10dBm。  相似文献   

8.
紫外-真空紫外波段的Al+MgF_2膜   总被引:1,自引:1,他引:0  
Al+Mg F2 膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件下 Al+Mg F2 膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了 Al+Mg F2 膜的制备工艺 ,利用 Seya-Namioka紫外 -真空紫外反射率计测得 Al+Mg F2 膜的反射率在 1 50 nm~ 34 0 nm的波段上高于 80 %。Al+Mg F2 膜制备一年后 ,其真空紫外波段的反射率未有明显变化  相似文献   

9.
本文介绍我们首先使用一块软X射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软X射线反射率计的软硬件结构、功能与特点,并报告了实测结果。  相似文献   

10.
搭建了基于矢量网络分析仪的反射率远场测试系统测量雷达吸波材料反射率。利用180 mm×180 mm×5 mm铝板作为标准体,检测了系统的性能指标;利用大头针测试了系统的位置精度;测试了高度300 mm的泡沫实心角锥吸波材料的反射率。实验结果表明,该反射率远场测试系统的幅度精度在1 d B内,位置误差优于5 mm,对反射率测试结果误差小于1 d B,系统测试精度小于2%。  相似文献   

11.
本文介绍了负荷传感与LUDV液压系统,分析了在单泵多执行机构时负荷传感与LUDV液压系统的工作特点,并在此基础上建立了负荷传感变量泵、负荷传感液压系统与LUDV液压系统的AMESim模型,进行了仿真分析。  相似文献   

12.
简要介绍了决策支持系统(DSS)的产生和发展,论述了决策支持系统的系统结构和3个技术层次,辨析了DSS与管理信息系统(MIS)的区别和联系,重点研究了基于DSS的模型库和方法库的设计与实现。阐述了模型库系统的3个组成部分和方法库系统的体系结构,并对模型库与方法库之间的关系调用问题进行了详细分析。提出了模型库系统调用方法库中方法的实现方案。本文介绍的内容,对DSS应用具有一定的参考价值。  相似文献   

13.
Chain drive system is widely used in the conditions of high-speed, overload, variable speed and load. Many studies are focused on the meshing theory and wear characteristics of chain drive system, but system design, analysis, and noise characteristics of the chain drive system are weak. System design and noise characteristic are studied for a new type Gemini chain of dual-clutch automatic transmission. Based on the meshing theory of silent chain, the design parameters of the Gemini chain system are calculated and the mathematical models and dynamic analysis models of the Gemini chain system are established. Dynamic characteristics of the Gemini chain system is simulated and the contact force of plate and pin, plate and sprockets, the chain tension forces, the transmission error and the stress of plates and pins are analyzed. According to the simulation results of the Gemini chain system, the noise experiment about system is carried out. The noise values are tested at different speed and load and spectral characteristics are analyzed. The results of simulation and experimental show that the contact forces of plate and pin, plate and sprockets are smaller than the allowable stress values, the chain tension force is less than ultimate tension and transmission error is limited in 1.2%. The noise values can meet the requirements of industrial design, and it is proved that the design and analysis method of the Gemini chain system is scientific and feasible. The design and test system is built from analysis to test of Gemini chain system. This research presented will provide a corresponding theoretical guidance for the design and dynamic characteristics and noise characteristics of chain drive system.  相似文献   

14.
变风量系统设计探讨   总被引:1,自引:0,他引:1  
胡建平 《流体机械》2004,32(3):24-27
分析了变风量系统和定风量系统的特点,指出在计算冷负荷、送风量、设计风管系统及控制系统等方面应注意的问题,并简要提出了一些具体措施。  相似文献   

15.
基于CoDeSys的嵌入式软PLC系统的设计与实现   总被引:2,自引:0,他引:2  
嵌入式软PLC系统实现的重要内容是开发系统及实时运行系统的设计,而实时运行系统又是其核心部分.介绍嵌入式软PLC技术的优点,研究嵌入式软PLC系统的关键技术,并详细论述基于CoDeSys的嵌入式软PLC系统的总体结构及其开发系统与实时运行系统的设计实现.该系统具有可靠性高、兼容性强、性价比高等特点.  相似文献   

16.
分析了无人机电动舵机伺服系统各组成部分的原理,利用Matlab/Simulink工具建立了整个舵系统数学模型,并对舵系统的输出力矩、转速以及位置的动态响应进行了仿真。之后建立了舵系统的传递函数模型,对舵系统的稳定性指标进行了仿真分析。结果表明通过两种方式对电动舵机回路进行建模分析,有利于更全面准确的了解系统动态特性,减少了舵系统设计难度,增强了系统的可靠性。  相似文献   

17.
The dynamics of an ultrasonic rod system with a piezoelectric vibration exciter are examined. Based on the analysis of the equations of vibrations of the electromechanical system, methods of resonance adjustment are described. The main features of constructions and system operation in resonance conditions are identified. Methods for the selection of optimal system parameters causing maximal amplitude of variations of the working system element are found.  相似文献   

18.
介绍了滚珠丝杠激光动态测量系统的设计,包括动态测量原理,激光测量系统的布局,主轴伺服电动机的控制等;并制定了滚珠丝杠激光动态测量仪的检定规程,对该测量仪进行动态测量,给出了测量数据与结果统计分析。该系统检测效率高,操作性强,性能可靠,已在陕西汉江机床有限公司稳定运行。  相似文献   

19.
电控直列泵─管─阀─嘴(PPVI)柴油喷射系统是一种新型的电磁阀溢流控制式直列泵喷油系统,通过分析该系统内部的压力波动过程,确定电磁控制阀在高压油路中的连接方式和最佳位置,揭示该系统的喷油量、喷油定时、喷油压力及喷油速率等方面的喷射特性,通过系统结构设计、硬件调整和软件标定解决多缸机系统的油量均匀性问题,进行电控柴油机的台架试验,表明喷射特性的可控性及其对整机综合性能的改善效果。  相似文献   

20.
论述机器人视觉伺服的发展历史、方向和研究背景,系统介绍了机器人视觉伺服系统的基本分类,重点介绍三种现有的控制结构、动态LookandMove系统、视觉直接伺服系统以及实现视觉伺服系统各个环节的主要问题。对智能控制在机器人视觉伺服系统中的应用作了介绍,并对控制系统实时性进行分析。展望今后的发展方向。  相似文献   

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