一种基于光散射原理在线测量晶圆表面质量的方法

在半导体工业中,晶圆表面质量的检测占据着重要的地位。选择粗糙度参数轮廓算术平均偏差R。作为衡量表面质量的参数,根据晶圆的一般粗糙度范围（Rα为0.01—0.8μm）,构建了一种基于光散射原理的视觉系统测量装置。通过分析光散射强度分布图像,提取出一些参数来表征Rα,达到检测晶圆表面质量的目的。给出了初步的实验结果,说明了此方案是可行的。     

基于GPRS的环境监测系统的设计

为了实现对环境参数的远程实时监测,设计了一种基于GPRS的无线环境监测系统.使用GPRS网络作为无线传输网络,通过TCP/IP协议进行上位机和现场机之间的无线数据传输.使用Visual Basic.NET中的SOCKET组件以及ADO.NET技术,实现了系统数据通信和后台数据库功能模块,并给出了系统测试结果.该系统具有分布范围广、自动化监控、实时数据传输、费用低廉等特点,特别适合突发性且频繁的小流量数据传输.     

基于广义多项式混沌法的电力系统随机潮流

近年来,随着风、光电源的大量接入,系统运行的不确定性增大,考虑了系统运行随机因素的随机潮流受到更广泛的关注。提出了一种基于广义多项式混沌法的电力系统随机潮流计算方法。该方法利用广义多项式混沌法的正交多项式逼近思想,将系统的随机性分离至正交多项式基,并利用直角坐标潮流方程的二次性避免非线性潮流方程展开的高阶截断误差,进而利用随机Galerkin法,将随机潮流方程转换为一组确定性方程,通过此方程的求解获得随机潮流状态变量的正交多项式逼近系数,由此系数可获得相关变量的期望和方差,并可结合蒙特卡洛仿真,获得变量的概率密度。IEEE 9节点系统的算例表明,该方法的计算误差大致随多项式逼近阶数的上升而指数下降,通常条件下三阶逼近即可获得较高的精度,具有比蒙特卡洛仿真法更高的计算效率。     

可见到近红外波段整层大气透过率的测量

通过测量太阳辐射值计算整层大气透过率的方法简单易行且精度高。利用自行研制的整层大气透过率仪测量可见到近红外波段的太阳直接辐射连续光谱,在可靠定标的基础上,推算出实际天气条件下的整层大气光谱透过率。利用Langley-plot方法对整层大气透过率仪进行标定,得到了仪器标定结果和不同时刻整层大气透过率随波长变化的曲线。将计算得到的整层大气透过率与太阳辐射计PGS-100的测量和MODTRAN计算的结果分别进行了比较,发现有较好的一致性,从而证明整层大气透过率仪设计合理,测量数据可靠。     

表面特性光学实时检测的理论和实验研究

针对精密磨削加工中冷却液的使用使得工件表面的光学实时检测非常困难这一问题,提出了一种在冷却液环境下借助特制"透明窗"装置的光学方法。此方法使被测表面上方出现附加层,分别对附加层中的液体处于静止和流动状态时的情况进行了理论分析和实验研究。对于静态液体,利用修改的B-K(Beckmann-Kirch-hoff)散射模型,从采集到的散射光强分布图中提取出一比值参数,通过参数拟合得到表面粗糙度和比值参数间的关系曲线。对于动态液体,分析光束在流体层中的传播特性,计算通过流动液体层的光束偏移量。结果表明:静态液体时,垂直于散射光带主方向的比值参数能够用来衡量表面轮廓算术平均偏差粗糙度,它们之间可以用explinear函数拟合;动态液体时,通过流体层的光束偏移量非常小,只有0.494×10-5μm。可见,液体的流动对于光学实时检测的影响非常小,液体处于静止状态时的测量结果可以作为表面特性实时检测的最终结果。     

翼伞组提带张力传感器的有限元分析

翼伞在民用、军事、航空领域有广泛的应用,尤其在新冠疫情爆发期间,翼伞在物资投放中发挥了重要的作用。翼伞的组提带张力对其飞行的安全性以及着陆地点的精确性至关重要。为实现翼伞组提带张力的测量,设计一种工字型无线张力传感器结构,可解决现有张力传感器存在的量程不足、会破坏组提带结构等问题。运用SolidWorks设计弹性装配体模型并导入ANSYS Workbench18.0,对其进行静力学分析,选取传感器材料并找到应变片最佳的粘贴位置,对该传感器模型进行静力学仿真和模态分析,分析结果证明该传感器结构的可行性。     

改进整数变量辨识方法在机组组合问题中的应用

如何辨识待定整数变量,是机组组合问题中的难点,为此在综合考虑机组不同出力水平对成本的影响、系统时段耦合、系统备用以及网络安全等约束的情况下,提出了待定整数变量辨识方法.首先对各线性化目标函数进行安全约束机组组合松弛计算,根据所得结果按给定规则确定所有在全时段机组状态出现启停的机组集合,有效缩小了机组组合的寻优空间.在不影响最优解的前提下,利用负荷曲线特异性截取技术,加速了待定整数集合识别过程,提高了计算效率.算例结果验证了该方法的有效性     

基于广义Benders分解的启发式机组组合优化

电力系统机组组合问题是一个高维、离散、非线性的工程优化问题。提出了一种基于Benders分解的启发式算法。该算法一方面充分利用研究时段负荷曲线的特征,将问题进行解耦,减小被研究问题的规模。另一方面,利用Benders分解算法在混合整数规划中的有效性,提高了解决问题的效率。算例表明该方法效率高、结果稳定,有较好的实用价值。     

电网断面热稳定限额计算模型及方法

分析了电网预想开断前后设备组(并联运行的线路或并列运行的主变压器)的有功潮流变化情况。通过剩余/转移系数将预想开断后的设备组有功潮流表示为设备组初始有功潮流的线性函数。依据设备短时、长期运行载流量确定设备组初始有功潮流的约束条件,根据设备组热稳定限额与初始有功潮流的最小比值最大原则,提出了设备组热稳定限额的优化计算模型。运用线性规划单纯形法进行求解,并通过分岛计算提高算法的执行效率。根据用户定义的断面集,对设备组的热稳定限额进行叠加,给出断面热稳定限额。浙江电网的实际算例结果验证了所述模型的正确性和求解方法的有效性。     

求解机组组合问题的多种群混沌蚁群算法

机组组合是一个大规模混合整数规划问题,具有高维、离散、非线性等特点,在数学上被称为NP-hard问题。国内外研究表明蚁群算法在解决组合问题时有其特有的优越性。提出的多种群混沌蚁群算法在基本蚁群算法的基础上,把蚁群分为搜索蚁、侦察蚁和工蚁,并引入了混沌量。一方面继承了蚁群算法在解决组合问题上的优越性;另一方面最大限度地克服蚁群算法本身的运算速度慢、易陷入局部最优等缺点。最后用修正后的IEEE30节点系统对算法可行性作了验证,并对算法的合理性和有效性进行了分析。结果表明,所提出的多种群蚁群算法是合理有效的。