排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
为了探索Ar/N2-Ar共溅射Ti掺杂对Ta2O5涂层光学性能和力学性能的影响,采用射频和直流磁控共溅射技术在玻璃基底表面制备了Ta2O5、N2-Ta2O5、Ti-Ta2O5和N2-Ti-Ta2O5涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)表征了Ta2O5、N2-Ta2O5、Ti-Ta2O5和N2-Ti-Ta2O5涂层的微观结构和表面形貌;通过紫外可见分光光度计测试了涂层的光学参数;采用纳米压痕仪测试了涂层的硬度和杨氏模量。XRD测试结果表明,Ta2O5、N2-Ta2O5、Ti-Ta2O5和N2-Ti-Ta2O5涂层主要以Ta2O5为主体的非晶相结构组成。SEM和AFM结果显示,沉积在玻璃基底上的涂层未出现大面积空隙,溅射粒子在基底表面均匀堆积生长,并且涂层沉积厚度基本一致,厚度误差在5%以内。分别引入N2和Ti及N2-Ti共掺杂,均可降低Ta2O5涂层的粗糙度。光学测试结果表明,分别引入N2和Ti元素,可以提高Ta2O5涂层的平均透射率至81%以上,而N2-Ti共掺杂制备的N2-Ti-Ta2O5涂层平均透射率降低。力学测试结果显示,与Ta2O5涂层对比,N2-Ta2O5和N2-Ti-Ta2O5涂层的硬度显著增大,Ti-Ta2O5涂层硬度基本一致。弹性指数(H/E)和塑性指数(H3/E2)表明,N2-Ta2O5涂层和N2-Ti-Ta2O5涂层具备更好的断裂韧性和抗塑性变形能力。在玻璃表面制备Ta2O5掺杂N2和Ti元素的涂层,可以实现以N2-Ta2O5涂层和N2-Ti-Ta2O5涂层为代表的、同时具备优异光学性能和力学性能的多功能涂层。 相似文献
1