Zr基大块非晶喷射电解腐蚀特征的研究

利用透射电子显微镜(TEM)及场发射电镜纳米尺度成分分析技术(EDS分析)研究块状非晶Zr_(70)Cu_8Ti_7Ni_(15)喷射电解腐蚀特征.结果表明:在喷射电解腐蚀过程中,非晶内少量纳米级别的晶体相对于块状非晶基体较容易被腐蚀破坏.此外,经高氯酸乙醇溶液电解腐蚀后非晶中明显存在一些特殊非晶区域,其中含有大量非晶态氧化物,Ni大量流失,这些区域的形成是由于Cl离子点蚀引起的.     

聚合物双层微悬臂梁传感器光热激励的特性及模拟优化

文中研究了聚合物基双层悬臂梁在光强和温度变化的激励下的挠度特性,并利用建立的数学模型通过采用Matlab程序进行了模拟和优化.实验得出:在热激励下聚合物(PMMA)悬梁镀金以及悬梁和金属膜厚度比值为0.1时最优化;在光激励下聚合物悬梁镀铬以及悬梁和金属膜厚度比值为0.03时最优化.研究为制作聚合物双层传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础.     

基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制

首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁.测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产.同时避免了刚性脱模带来的难题.根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法.