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采用高功率调制脉冲磁控溅射(modulated pulsed power magnetron sputtering, MPPMS)和脉冲直流磁控溅射(pulsed direct current magnetron sputtering, PDCMS)复合沉积CrNx涂层,通过调节氮气流量比及溅射功率,研究了氮气/氩气流量比、PDCMS溅射功率及MPPMS溅射功率等工艺参数对CrNx涂层成分、相组成、微结构和力学性能的影响。通过电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪及维氏硬度计等,分别对CrNx涂层的成分、相组成、微结构、形貌、硬度及断裂韧性等进行表征。结果表明,当PDCMS溅射功率从700 W增加到1000 W,MPPMS峰值功率增加43.5%,涂层中Cr含量(原子分数)由61.0%增加到65.4%,N含量由39.0%减少到34.6%,而CrNx涂层主要由Cr2N相组成。随着溅射功率的增大,CrNx涂层硬度变化不... 相似文献
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土质边坡的稳定性对各种工程的施工有着重要的影响。文章利用有限元软件ANSYS,采用强度折减法分析了某边坡在自然状态下的稳定性,研究了锚索对边坡的加固效应。研究结果表明:强度折减法适用于边坡的稳定性分析;土质边坡在锚索加固后,塑性区加深且发展得到限制,边坡安全系数和稳定性得到显著提高。 相似文献
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