用红外光弹仪测量研究硅单晶应力

本文报道了用红外光弹观测仪定量测量和研究硅单晶残余应力,测定主应力方向和主应力差。为定量计算主应力差,我们给出了几种判别干涉条纹级次的方法。介绍了硅单晶出现残余应力的几种情况。     

红外光弹观测仪

本文介绍红外光弹观测仪的设计原理、部件制作和整机特性。该仪器对透过红外而不透过可见光的晶体(如硅)提供一种较好的测量与研究手段。