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测量HgCdTe组分均匀性已有许多方法,但有些方法中仪器设备昂贵。而较为简单的方法,只能估算晶片的平均组分,不能测组分分布。我们采用我所和复旦大学共同研制的SR-2自动扩展电阻探针仪,测量HgCdTe晶体微区电阻率分布,由此反映HgCdTe横向组分均匀性,获得了满意的结果,认为它是一种简便、实用而又比较精确的方法。 相似文献
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本文报道用开管充气扩散法制备InSb的p-n结,使探测器的零偏压阻抗和探测率得到很大的提高。结合采用表面钝化技术后,器件的反向击穿电压也大大提高,单元器件的边缘效应和多元列阵的串音问题也得到较彻底的解决。现已用此工艺制造出高性能的单元、64元InSb列阵器件及10元TDI和20元多路传输红外COD。 相似文献
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本文报道在制备光伏型InSb列阵探测器时采用BF工艺,使器件的串音率和光敏元边缘效应得到改善的结果。多元列阵器件中的串音现象严重地影响着红外探测系统的灵敏度和红外成象的质量。赵文琴等曾用H~ 轰击的方法取得了较好的隔离效果,但实际应用有困难。我们采用BF工艺获得了更为满意的结果。实验证实,BF工艺是解决多元列阵器件串音及单元光敏面 相似文献
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