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专业分类
无线电
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2012年
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1.
AlN薄膜体声波谐振器的二维数值模拟
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于小利
罗中涌
曹明
公勋
章德
《压电与声光》
2012,34(5):661-663
利用时域有限差分法对薄膜体声波谐振器进行了二维数值分析.对压电方程和牛顿运动方程在时域和空域利用中间差分进行离散化.采用ANSOFT Maxwell 2D商业软件计算静电场的分布,得到了电场强度的分布.可精确预测各场分量在空间和时间上的分布.在记录一段时间内的电压和电流值的基础上,利用Prony算法计算了薄膜体声波谐振器的电学阻抗特性.
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