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本文根据等离子各向异性刻蚀的基本原理,综述了铝薄膜在反应性等离子体中实现各向异性刻蚀需要注意的一些主要问题,从而有助于了解其刻蚀过程以获得良好的各向异性刻蚀特性。 相似文献
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一、引言砷化镓材料技术的进展,促使砷化镓微波集成电路、电荷耦合器件以及数字集成电路等技术的快速发展。砷化镓等Ⅲ-V族化合物半导体又具有内在的压电特性,因此为声表面波技术与半导体集成电路技术相结合并开发研制新型信号处理器件和分系统提供了新的可能性。但是,在载流子浓度较高的压电半导体上应用声表面波技术中传统的叉指换能器结 相似文献
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三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨论形成这种金属电极结构的化学腐蚀法、离子轰击刻蚀法和剝离技术等并试图对各种技术的优点作出估价。化学腐蝕 相当于所需金属图形的光致抗蚀图形经曝光和显影后,通常需要烘烤 相似文献
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雷达吸波材料与吸波结构 总被引：3，自引：1，他引：2
介绍了隐身技术中雷达吸波材料与吸波结构的基础技术和它们所存在的主要问题，以及近年来对导电聚合体、铁氧体吸波材料等的研究情况。关于雷达吸波材料对冲激雷达辐射的有效性也作了初步论述。 相似文献
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高频声表面波器件制作的基本问题是如何在基片表面形成符合器件设计要求的精细线条图形。本文探讨了利用现有设备条件在适当改进常规工艺基础上,通过严格控制污染、保持基片光学平面质量、并在曝光过程中将光衍射减至最小以及应用剥离工艺获得微米及亚微米级线条图形的工艺途径。 相似文献
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自从叉指电极表面波换能器发明以来,研制成功的各种不同的超声器件和各种各样的由表面波实现的电子功能,已大大超过了单用体弹性波所能实现的。在此发展过程中,平面制造技术可能是唯一的最重要的因素,因此是本文的主题。平面制造技术的基本原理如图1所示。在一个基片表面涂上辐射敏感的聚合物膜层, 相似文献
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