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沉积压力对非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究 总被引:2,自引:2,他引:2
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积压力对薄膜的结构和性能的影响.利用XRF、轮廓仪和XRD分析测试薄膜的成分、厚度和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能.结果表明:降低沉积压力使溅射粒子的平均自由程变大,薄膜沉积过程中再溅射作用加强,对薄膜的结构和性能产生较大的影响.沉积压力升高,薄膜中S和Mo原子比和Ti质量分数随之增大,变化范围分别为1.50~1.77和5.8%~8.1%,薄膜沉积厚度先增大后减小,薄膜晶相结构从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随沉积压力的升高而降低,薄膜硬度变化范围是5.7~3.5 GPa,薄膜与基底间附着力变化范围是100~75 mN;薄膜在真空环境中的减摩性能不受工作压力变化影响,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01~0.04,薄膜耐磨寿命随沉积压力升高依次为9 000,21 500,28 000,18 000 m ,工作压力低时再溅射作用破坏了MoS2分子层间的滑移能力从而使其耐磨寿命降低. 相似文献
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目的 研究3种成熟度花生仁在3种压缩方向下的力学性能。方法 以中花6号花生仁为研究对象,通过正压、侧压和立压等3种方向,对3种不同成熟度样品进行压缩试验,获得力学特性曲线,计算其弹性模量和抗压强度等力学参数;通过方差分析得出成熟度、压缩方向与各力学参数之间的关系;通过三维建模和有限元分析,比较试验值与模拟值之间的误差,验证花生仁压缩试验及有限元分析的可靠性及准确性。结果 在3种压缩方式下,测得3种不同成熟度的花生仁弹性模量为15.33~45.66 MPa,破裂力为45.5~153.4 N,弹性变形量为0.72~2.22 mm,抗压强度为16.25~47.94 MPa。成熟度对花生仁抗压强度和破裂力的影响极显著(P<0.01),对花生仁弹性模量和弹性形变的影响显著(0.01<P<0.05);压缩方向对花生仁弹性模量和弹性形变的影响显著(0.01<P<0.05),对花生仁抗压强度和破裂力的影响不显著(P>0.05)。结论 相同成熟度的花生仁,在立压方向下最容易发生破裂;花生仁属于各向异性材料,种脐部位为花生仁受力最薄弱的位置。 相似文献
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采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜。用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能。研究结果表明:在溅射沉积MoS2薄膜过程中掺杂金属Ti,有效地阻断了MoS2疏松、多孔柱状晶的优势生长,从而生成组织结构致密、无定形态的薄膜,提高了其与基底间的附着力。掺Ti复合薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能都得到显著改善,真空环境中10%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的37倍,大气环境中20%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的67倍。 相似文献
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一种基于划分的动态聚类算法 总被引:8,自引:5,他引:8
聚类分析是数据挖掘的一个重要研究分支,已经提出了许多聚类算法,划分方法是其中之一。划分方法的缺点是要求事先给定聚类结果数,对初始划分和输入顺序敏感等。为克服这些缺陷,以划分方法为基础,提出了一种基于划分的动态聚类算法。该算法按密度从大到小,依距离选择较为分散的初始值,同时可以过滤噪声数据,并在聚类的过程中动态地改变聚类结果数,改善了聚类质量,获得了更自然的结果。 相似文献
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采用直流反应磁控溅射分别在200、250、300和350℃条件下沉积类富勒烯碳氮薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)表征薄膜的微观结构形貌,采用薄膜综合性能测试仪以及通过大气球盘摩擦试验研究薄膜的力学性能及摩擦学性能。结果显示:制备的类富勒烯CN_x薄膜中存在sp~2C-C、sp~2N-C和sp~3C-N化学键;随着沉积温度的升高,薄膜的结构变得更加致密,硬度、弹性模量以及弹性恢复系数逐渐增大,摩擦因数和磨损率降低;沉积温度为350℃制备的薄膜摩擦因数和磨损率最低,表现出优异的耐磨损性能。 相似文献
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