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化学机械平坦化(Chemical mechanical planarization,CMP)是集成电路制造的关键技术之一。晶圆夹持器是CMP系统的核心零部件。为研究万向球头位置对平坦化过程中晶圆姿态瞬态调整能力的影响,采用混合软弹流润滑模型分析抛光垫表面的流动与接触行为,并结合夹持器的瞬态运动方程分析晶圆姿态的动态变化过程。分析结果表明,夹持器姿态的调整能力随万向球头的中心高度增加而提高,摩擦力矩的增加有利于晶圆姿态稳定在平衡位置,但同时接触应力不均匀性增加。因此,合理设计夹持器结构对CMP加工质量非常重要,提出的瞬态混合润滑模型对夹持器的动态特性进行分析可以为设计提供非常有意义的理论指导。 相似文献
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提出一个关于测力传感器变形引起的定位误差补偿方法。针对磨削轴承套圈的电磁无心夹具,在前后两个支撑上分别安装测力传感器,当支撑径向定位轴承套圈时,测力传感器精确测量轴承套圈所受支撑力并发生相应偏移。通过分析无心磨削支撑与工件的位置关系和定位误差的变化规律,推导出测力传感器受力变形导致支撑发生偏移引起的定位误差的计算公式,并提出通过控制砂轮架进给的方法补偿定位误差。结果表明:测力传感器变形会影响套圈的加工精度,此方法能够补偿该定位误差。且通过对比补偿前后的磨削时间表明,此方法能提高轴承套圈外圆磨削效率。 相似文献
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目的 探索特殊的进料方式和分流流道,以满足长圆形分流均衡的特殊性需求。方法 运用流体力学对LDPE树脂流动进行力学分析,研究长圆形中空体成型质量与口模流道分流区数量、缝隙的关系,确定最佳的口模流道分流区数量、缝隙,并通过试制结果来验证分析数据的准确性。结果 采用1个衣架流道和6个区域的狭缝流道,衣架流道采用2个进口,并且狭缝流道的6个区域缝隙分别为4、3、3.5、1、5和1 mm时,长圆形中空体成型质量可以达到最佳效果:壁厚均匀性好,偏差小于0.15 mm;外表光滑无带褶皱竖纹;竖直度好,偏斜度小于3 mm。结论 文中设计方案先进、有效,可以用于包装用LDPE塑料瓶生产过程中的长圆形中空体成型过程。 相似文献
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