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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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张拉控制应力建立的过高或过低,将直接影响预制构件的结构性能检验,特别是使抗裂检验出现异常。文中指出了在预制构件结构性能检验中出现这一异常现象的原因及后果,同时对消除这一异常现象提出了一些具体措施。 相似文献
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石家庄市桥东污水处理厂有6座11500m3无粘结预应力混凝土蛋形消化池,本文介绍其非预应力钢筋、模板体系、混凝土和预应力工程等结构施工成套技术。 相似文献
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《建筑钢结构进展与市场》2004,2(2):59-61
《膜结构技术规程》批准施行;第六届中日建筑结构技术交流会6月在浙举行;宝钢学术年会探讨钢铁工业可持续发展新课题;第三届国际钢铁大会在上海召开;宝钢上海一钢不锈钢工程建成投产 相似文献
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