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1.
2.
《微纳电子技术》2019,(6):480-485
玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。  相似文献   
3.
分析了线切割线电极在加工前与工作台XY平面垂直度将影响工件加工曲面的精度以及圆形垂直度校正仪在校正电极垂直度时几个方面不足,通过设计辅助校正装置,解决了校正仪二次放置引起的定位误差;通过设计方形与多边棱形垂直度校正仪,消除了圆形校正仪校正电极丝垂直度时XY轴误差的相互影响,提高了零件的加工精度。  相似文献   
4.
双光子激光三维微细加工及信息存储技术   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况,给出了部分利用已建立的加工系统所获得的初步实验结果。  相似文献   
5.
展成式精密电火花加工机床   总被引:1,自引:0,他引:1  
研制了一种展成式精密电火花加工机床,它含有3个回转机构和4个直线移动机构,工件苡轴,工具电极苡轴和转台均可按需要回转,坐标工作台可作纵向和横向移动,工件头架可作轴向和竖向移动。可设置成多种复合运动方式和相应的结构布局,具有很丰富的加工功能,加工精度能达到微米级并实现电火花镜面加工。  相似文献   
6.
电火花超声复合抛光   总被引:1,自引:0,他引:1  
概述了电火花加工的原理、模具的抛光技术,重点介绍了电火花超声复合抛光技术的原理、工艺效果及优点。  相似文献   
7.
论述了电磁铁铁芯 (硅钢片 )模具的设计要点及其线切割加工的技巧 ,提出了提高模具加工精度和使用寿命的有效措施。  相似文献   
8.
详细论述了利用线切割机加轧辊孔型模板中易出现的几种影响加工精度的因素及消除方法,以达到提高模板精度。  相似文献   
9.
飞秒激光烧蚀研究进展   总被引:10,自引:3,他引:7  
介绍飞秒激光烧蚀材料的机理论模型,阐述飞秒激光烧蚀的特性,揭示飞秒激光烧蚀的广泛应用前景。  相似文献   
10.
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