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日立高技术公司推出新型场发射扫描电镜S4 80 0。这种扫描电镜的特点是 ,新的物镜设计与EXB滤光技术可收集与分离来自纯二次电子、组成二次电子和背散射的各种信号。它收集低能量背散射电子的效率比标准EXB滤光系统高三倍 ,可确保在低的加速电压下产生显著的背散射电子像。这种新的电子 -光学系统可提供在 15kV为 1 0nm与 1kV为 2 0nm的分辨力。为发挥其最大能力 ,重新设计了试样台 ,利用涡流分子泵避免污染。Ⅰ型电镜的试样台 ,在xy方向可移动 5 0mm× 5 0mm ,Z向有倾斜能力。Ⅱ型电镜与一个8in小室相连 ,可测试… 相似文献
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真空微电子三极管是近年来兴起与发展的真空微电子学中的一类重要器件。本文从真空微三极管的工作特性出发,分析了这类器件中所需考虑的几何参数和工作特性的关系,并给出了一些理论和实验公式,为今后的设计提供一些参考。 相似文献
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本文是利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特性。用热动力学过程解释了锥形碳纳米链的生长机理。 相似文献
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