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1.
A new technique of EDM coring of single crystal silicon carbide (SiC) ingot was proposed in this paper. Currently single crystal SiC devices are still of high cost due to the high cost of bulk crystal SiC material and the difficulty in the fabrication process of SiC. In the manufacturing process of SiC ingot/wafer, localized cracks or defects occasionally occur due to thermal or mechanical causes resulted from fabrication processes which may waste the whole piece of material. To save the part of ingot without defects and maximize the material utilization, the authors proposed EDM coring method to cut out a no defect ingot from a larger diameter ingot which has localized defects. A special experimental setup was developed for EDM coring of SiC ingot in this study and its feasibility and machining performance were investigated. Meanwhile, in order to improve the machining rate, a novel multi-discharge EDM coring method by electrostatic induction feeding was established, which can realize multiple discharges in single pulse duration. Experimental results make it clear that EDM coring of SiC ingot can be carried out stably using the developed experimental setup. Taking advantage of the newly developed multi-discharge EDM method, both the machining speed and surface integrity can be improved.  相似文献   
2.
LDD方法在提高电路工作电压中的应用研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
曾莹  王纪民 《微电子学》1997,27(1):37-42
研究了利用轻掺杂漏结构来制作高电源电压器件的工艺方法。分析了LDD结构参数对器件击穿特性的影响,并结合实验结果对N^-区的注入剂量,长度及引入的串联电阻进行了优化设计。  相似文献   
3.
NMOS器件两次沟道注入杂质分布和阈电压计算   总被引:1,自引:1,他引:0  
王纪民  蒋志 《微电子学》1997,27(2):121-124
分别考虑了深浅两次沟道区注入杂质在氧化扩散过程中对表面浓度的贡献。对两次注入杂质的扩散分别提取了扩散系数的氧化增强系数、氧化衰减系数和有效杂地系数,给出了表面浓度与工艺参数之间的模拟关系式,以峰值浓度为强反型条件计算了开启电压,文章还给出了开启电压、氧化条件、不同注入组合之间的关系式。  相似文献   
4.
本文论述了具有透明波导结构的量子阱半导体激光器及其光集成技术的其本原理及主要优点。尤其在实现高功率窄光束输出的光集成器件方面更显出其独特的优点。  相似文献   
5.
深亚微米MOSFET衬底电流的模拟与分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用器件模拟手段对深亚微米MOSFET的衬底电流进行了研究和分析,给出了有效的道长度,栅氧厚度,源漏结深,衬底掺杂浓度以及电源电压对深亚微米MOSFET衬底电流的影响,发现电源电压对深亚微米MOSFET的衬底电流有着强烈的影响,热载流子效应随电源电压的降低而迅速减小,当电源电压降低到一定程度时,热载流子效应不再成为影响深亚微米MOS电路可靠性的主要问题。  相似文献   
6.
赵红怡 《激光杂志》2002,23(3):62-64
DR是目前非常先进的X射线成像技术,将其X射线采集板工作温度控制在最佳工作范围可采集更好的图像。本系统采用PC和单独控制双模块分别控制温度,利用半导体传感器DS1620进行四路温度采集,通过单片机和PC串口通信,用PC通过半导体制冷芯片来控制X射线采集板的工作温度,在通信故障时也可以通过单独控制模块来控制采集板的温度。  相似文献   
7.
Amorphous carbon (a-C) films and amorphous carbon films incorporating with the nitrogen (a-C∶N) were deposited on silicon substrates in a radio-frequency driven plasma enhanced chemical vapour deposition system, while the surface electrical properties of films were investigated by electrochemical capacitance-voltage measurements. It was examined the effect of the interface defects on the properties and deduced that the conducting type of a-C∶N films was n-type. Subsequently, a comparative studies of a-C and a-C∶N films were performed by photoluminescence spectra depending on the temperature. With the decrease of the temperature, the main band with peak energy of 2.48 eV in the a-C∶N films was more intense compared with the other three bands caused by amorphous C in the a-C films.  相似文献   
8.
罗江财 《半导体光电》1989,10(3):78-81,88
本文根据实际测量结果,一叙述了半导体衬底制片质量对外延生长的影响。特别是,讨论了在 GaAs、InP 衬底中,产生于切片、研磨和抛光加工过程中的机械损伤的影响。  相似文献   
9.
用射线法导出了两段式激光器的输出谱公式,分析了外腔式半导体激光器的输出光谱,计算了ECLD被调二极管模式的不同波长处振时的阈值,获得了ECLD模式的波长表达式,讨论了二极管靠近光栅的一面的反射率的波长特性对输出的影响。  相似文献   
10.
Schottky diodes of rare-earth, praseodymium (Pr)-doped and samarium (Sm)-doped furazano [3,4-b] piperazine (FP), sandwiched between Al and indium-tin oxide (ITO) were made by a spin-coating technique. The diodes, in which doped FP behaves as a p-type organic semiconductor, exhibit rectification behaviour. The p-type semiconductivity and rectification properties of the devices improve with rare-earth doping. The electrical effects observed in these devices are explained in terms of the p-type semiconducting behaviour of the doped FP thin films and the formation of a blocking contact (Schottky barrier) with the Al electrode and ohmic contact with the ITO electrode. Various electrical parameters such as carrier mobility, position of Fermi level, free carrier concentration, trap density, trap level and conductivity of doped FP are calculated and discussed. It is found that the position of the Fermi level shifts toward the valence band on rare-earth doping; concentration of free carriers and carrier mobility increase on doping. From the capacitance-voltage (C-V measurements, various electrical parameters such as barrier height, density of ionized acceptor atoms and depletion layer width are calculated and discussed. From the action spectra and absorption spectra it is confirmed that the Al-doped FP interface forms a Schottky barrier and the ITO-doped FP interface shows ohmic contact. The photovoltaic measurement on the two devices reveals that the short circuit current, open circuit voltage, fill factor and power conversion efficiency increase on rare-earth doping.  相似文献   
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