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91.
传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管.使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管的栅极区,简化了工艺流程,使器件在调试过程中具有很大灵活性.使用PECVD(等离子体增强化学气相淀积)工艺,解决了槽栅结构静电感应晶体管的栅极区与源极区容易短路的问题.给出了详细的工艺流程.  相似文献   
92.
采用TSMC 0.6 μm 1P3M标准CMOS工艺设计了一种检测O2浓度的SnO2气体微传感器.传感器材料是由实验分析及CMOS工艺共同确定,其多晶硅加热电阻温度系数小、功耗低,而SnO2敏感薄膜灵敏度高且稳定性良好,通过软件对器件进行热学模拟仿真并确定了传感器的结构及设计参数.芯片测试结果表明:所设计的MHP悬空结构的传感器反应速度快、抗干扰能力强、具有较高的灵敏度及稳定性,检测O2含量的浓度范围为15%~70%,满足了工艺要求.  相似文献   
93.
SITH负阻转折特性的分析模型   总被引:1,自引:0,他引:1  
姜岩峰  李思渊  刘肃 《半导体技术》2000,25(2):20-22,31
提出了一个用于分析SITH正向阻断态的新模型。这个模型在结构上类似于SCR。这样,就可以把SITH的二维分析简化为SCR的一维分析。我们应用了这个模型来分析SITH的负阻特性并且计算出了阳极正向转折电压,计算结果与实际测量值相符合,从而证明了这个模型的合理性。  相似文献   
94.
95.
康宁  刘肃 《半导体技术》1991,(5):24-25,30
本文介绍了国内新研制的静电感应晶闸管(SITH)应用研究之一。作者所研制的SITH交流电子调节器可对输出功率在500W以内的各种电器通过调节导通角进行无段控制,可广泛应用于白炽灯、电熨斗、电风扇等家用电器或其它电器的连续调光、调热、调转速等。该调节器结构合理、性能稳定、安全可靠;对元件参数要求不苛,易于制做和调试,若能组织规模生产,其经济效益和社会效益是显著的。  相似文献   
96.
97.
采用固态源分子束外延的方法在GaAs(110)取向衬底上生长了GaAs/AlGaAs多量子阱结构.对样品进行了低温光致发光谱和时间分辨光致发光谱的测量,结果表明激发功率和激发波长对室温下量子阱内电子的自旋弛豫时间有强烈的影响.对于常见的GaAs(100)量子阱起支配作用的D'yakonov-Perel' (DP)自旋弛豫机制,在GaAs (110)量子阱材料里被充分地抑制了.对于缺失了DP相互作用的GaAs (110)多量子阱,电子-空穴相互作用对自旋弛豫时间随激发功率变化有重要的影响.  相似文献   
98.
郁红  刘肃 《微纳电子技术》2007,44(4):190-194
给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下传感器的热性能及其和传感器特征尺寸的关系。最后,通过试验结果验证了模拟的正确性。  相似文献   
99.
悬挂链式热处理生产线是一种新型的自动化程度较高的连续式生产线,可以实现工件的装卸、加热、冷却于一闭合环路的大型工艺装备。主要用于对大批量且适于悬挂的工件进行热处理,能够完成工件的淬火、正火及回火等处理,具有生产效率高,产品质量稳定,生产成本低及自动程度高等特点。  相似文献   
100.
销售对生产型企业及销售型企业的重要性使得企业管理者对销售人员的素质尤为重视。销售人员培训管理系统化、科学化是企业现代化管理的必然趋势。结合具体工程实例,采用SQLServer2005开发底层数据库,用C#语言在VS.NET集成开发环境下进行用户界面设计,完成了整个销售员培训管理系统的需求分析、系统设计与具体实现。  相似文献   
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