接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析

光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响，是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一，为此，研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程，建立了相应的光刻理论模型，对光刻成像中的误差产生机理进行分析．该模型综合考虑光源和照明系统对掩模微结构附近光场相干性的影响，将光刻模拟分为3部分．首先根据VanCittert-Zernike定理确定了光源经扩束准直系统传播到蝇眼透镜入射面时光场上任2点的互强度．然后应用部分相干光的传播理论，由Hopkins公式得到部分相干光经蝇眼透镜传播到掩模平面后其上任一点对的复相干度的分布规律．最后根据互强度传播定律，分析从掩模面到光刻胶表面的衍射效应，得到光刻胶表面的光强分布及变化规律，并且通过误差的仿真分析模拟得到光刻胶图形轮廓．结果表明，理论模拟结果与实验较为吻合．该方法能准确地得到衍射光场的分布，进行光刻误差分析，从而能较好地发现曝光图形缺陷．     

今季潮流新机全搜索 潮拜进行时

八月的尾端了,重庆的天气依然是炎热的代名词,丝毫没有冷却的迹象,漫长的夏季里,绚烂的颜色、闪耀的活力以及攒动的潮流都让我们应接不暇,不过重要的是还有耀眼的阳光,所以很多时候夏天对于我们来说就是冷气房,MI众自然也不能逃出这个范围,所以活动空间大大缩小,外加精神不济,真不是一个好现象,大家还是需要室外锻炼的,不过坦白说,有阳光就免了,有空的时候晒晒月亮吧!虽然天气炎热,MI《热品》一样准时奉上,在夏天这个最潮的季节里带给各位米饭大人最精彩的产品评测——《潮拜进行时——今季潮流新机全搜索》手机评测专题,感受一下手机中的时尚一族。另外,DV、DC以及笔记本一个都不少地继续为大家奉上MI的精心杰作,所以各位米饭“开餐“时间到了!!     

音乐向左 游戏向右联想 i909

手机市场中新添一个高性价比娱乐之作,来自联想(Lenovo),型号为i909。这是专为80后“玩乐“一族量身打造的产品,拥有大音量高音质音乐播放和丰富互动娱乐游戏两大看家本领。音乐向左,游戏向右,左右都让你好玩儿!     

大屏时代 海尔HG-E77

前些日子有一大学同学让我给他推荐一款手机,要求只有四个字:“手写大屏“(当然是在一个实惠的价位上)。如今看来。本期来到MI评测室的海尔(Haier)HG-E77正对他的胃口,像他一样中意“手写大屏“的朋友们不妨也关注一下。     

“晶”音乐 步步高K168

越来越多的人开始喜欢上了用手机听音乐,各大卖场里更是一副“满场尽是音乐机“的景象,要想从这样一个机海之中捞出一个外表靓、声音甜、身价不高,更重要的是,拿着出街又不易撞机的产品,那你就得多花点儿心思,货比N家,精挑细选一番了。当然,这种时候MI是不会坐视不理的,在新一年的最开始。我们除了要对大家说“Happy New Year“之外,还会介绍一款不错的国产音乐新机——步步高(BBK)K168,各位选机时可列入参考范围之中。     

非主流行为 热门无屏or小屏MP3推介

现在MP3播放器界的主流是什么?大屏?没错!装上一块好看的大彩屏,不光是看着舒心,还能突破MP3的原有领域,抢抢MP4的生意,多好!但也有一些MP3继续着非主流的行为,或者不要屏幕,或者只带一个小小的屏幕,大行复古流。其实这种行为也是有好处,一来可以使产品专注于本质的音乐播放,二来可以降低成本,为消费者节约银子。既然这样,非主流行为,何乐而不为呢?     

商娱两用 金立A280

面对热闹异常的双卡双待手机市场,金立(GlONEE)也及时地加入了进来,推出旗下第一款双待手机——A280。这款可同时容纳两张SIM卡的手机不仅能够满足商务人士的需求,同时其娱乐功能也非常全面,对于年轻时尚一族也比较适用。     

三十天“商机” 联想P709

商务手机需要具备哪些素质?至少就目前来看仅凭商务功能已经显得力不从心了,近来一些厂商新推出的商务手机很有默契地共同向我们透露出了这样一个信息:超长待机!没错,这就是商务手机需要具备的一个新素质。联想(Lenovo)即将上市的P709很好地做到了这一点,长达一个月的纯待机时间让它在市场上格外醒目。     

帽子戏法 MOTOSLVR L72

在摩托罗拉(MOTOROLA)超薄手机产品线中,SLVR系列是与名声远播的RAZR系列齐名的另一分支——超薄直板手机系列,虽然它不像后者那样家族“人丁兴旺“,但以SLVR L7为代表的超薄直板机型仍然受到了用户同等程度的喜爱。继去年底为L7推出后续产品L71之后,今年摩托罗拉又追加了二度升级产品——SLVR L72,完成了一个始于L7的“帽子戏法“。     

极限哲学 三星SGH-E598

由于诺基亚(NOKIA)N73和索尼爱立信(Sony Ericsson)K790c两款拍照机型的热卖,用户对优秀拍照手机的认知仿佛都集中到了这两个厂商身上,其实,三星(SAMSUNG)也是拍照手机领域的一把好手,手机拍照方面的很多记录都是由它所保持的,很快,一款中端拍照手机——SGH-E598也将出现在市场上,通过它,相信各位会对三星在拍照手机领域的实力有一个更清晰的认识。