快速热处理对于0.25μm工艺技术的必要性

集成电子技术的进步要求开发具有灵活性的制造工艺。芯片的复杂度每年增长一倍，引起芯片尺寸的增大和特征尺寸的缩小，以提高芯片的功能。目前大多数半导体生产工厂工作重点是０５～０３５μｍ的技术，许多公司正在开发研制０２５μｍ工艺，估计１９９７年将可投产。但０２５μｍ技术正面临着许多工艺挑战。最大制造方面的挑战在于离子注入后浅结的形成与激活，生长高质量的薄氧化层，通过流动／回流接触提高具有高纵横比的金属阶梯覆盖面，而不扩散到已形成的源结和漏结，使用难熔金属作为金半接触避免金属须穿透浅结。０２５μｍ技术的结深大约为０１５μｍ，薄氧化层厚７０～８５ｎｍ用作金半接触的难熔金属为钛，它与氧有很高的亲和力。如果采用快速热处理（ＲＴＰ）技术，其单片环境，短时和精确的温度控制，将简化工艺的复杂度。本文将讨论ＨＥＡＴＰＵＬＳＥＴＭ设备及其应用优点，如浅结注入激活，薄氧化，ＢＰＳＧ回流和硅化钛的形成。     

使用降落伞快速转变风向——当发生火灾时,降落伞能护住安全通路不受烟气困扰

管理机构,企业主和劳动者协会最近都知道了有关在邻近巷道区段发生火灾时,使烟雾和有毒气体不进入进风安全通路的技术,美国矿业局匹兹堡研究中心已经对这一简单、廉价和高效的新技术做了最后测试。 按照匹兹堡研究中心在通风控制方面的主要研究员弗来德·凯索的介绍“现在,你可通过降落伞的帮助逃离矿井火灾。我们的降落伞风障可以当工作地段之外,(如皮带巷)发生火灾时,使人死里逃生”。 这些火灾已熟为人知是很危险的,由于风障能漏入大量空气,贯穿矿井的进风撤退巷很快可被烟雾污染。烟气的污染可以有效地用提高本巷道风压,使之高于邻近风巷风压的办法来降低,但是,在矿井实际开采作业中无法做到这一点。     

边界品位优化

许多或者也许是绝大多数矿床各部分的品位和价值都不相同,这就提出了必须留下多少或者什么边界品位可以利用的问题。最大限度回收矿石储量最通常的方法是降低成本以及利用机械化等措施达到较高的     

2003年第二季度太阳镜产品质量国家监督抽查结果分析报告

根据国家质量监督检验检疫总局(2003)国监任字第02025号抽查指令的要求,国家眼镜玻璃搪瓷制品质量监督检验中心于2003年第二季度对北京、上海、辽宁、四川等6个省、直辖市,涉及到7个城市44家眼镜零售店的90组太阳镜产品,进行了国家监督抽查。 本次国家监督抽查的总合格率为67％,现将抽查结果分析如下: 1 抽查概况 太阳镜是一种为防止太阳光强烈刺激造成对人     

铁磁性颗粒应用于乳状液膜

研究将铁磁性颗粒应用于乳状液膜（ＥＬＭ），提出了一种关于乳状液膜的新的操作方式，考查了含Ｄ２ＥＨＰＡ的磁性油和油包水（Ｗ／Ｏ）乳滴自位于磁场中的喷粒中从水溶液里以样锌的情况，包括液滴的运动特征，对Ｗ／Ｏ液滴通过设置永久磁铁从外水相中分离出分散相，使整个更中柔和，在旋转磁场和交变磁场中磁性液滴的运动特性取决于磁场强度，对油包水（Ｗ／Ｏ）液滴，能被稳在磁场中并形成一种拥挤的流动床，由此可显著提高提取率     

可标定高性能计算

可标定高性能计算普·安·尼其斯博士ＡＴ＆Ｔ多媒体产品及服务集团技术总监一、高性能计算计算（ＨＰＣ：ＨｉｇｈＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅＣｏｍｐｕｔｉｎｇ）概述１．计算的棘手问题从８０年代开始的传统设计到９０年代的可标定并行处理，此时遇到一些重大问题的挑战。...     

论滚筒碎选机的生产能力

<正> 用机械方法清除煤中的矸石,一般都使用滚筒碎选机进行选择性破碎。碎选机的生产能力受多种因素影响,影响生产能力的参数则为滚筒的长度、旋转的角速度和提升板的纵向倾角等。关于选择性破碎的理论至今还没有充分的研究,目前国内外仅有一些试验数