X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析

为了保证上海光源X射线干涉光刻光束线的稳定性,减小热变形对实验结果的影响,对X射线干涉光刻光束线的3个关键光学元件——偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝进行热-结构耦合分析。首先,计算偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝所承载的功率密度;然后,建立其有限元模型;最后,获得光学元件的温度场和热变形的结果。结果表明,偏转镜和聚焦镜采用间接水冷方式可有效抑制热变形,冷却后的最大面形误差分别为7.2μrad和9.2μrad。精密四刀狭缝未冷却时,刀片组件温度介于271.56~273.27℃,刀口热变形为0.19 mm,直线导轨热变形为0.08 mm;经过铜辫子冷却后,刀片组件温度降至22.24~23.94℃,刀口热变形降至0.2μm,直线导轨热变形降至0.1μm;采用影像法和接触探头法测试后,刀口直线度、平行度和重复精度均满足技术要求。偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝的热变形通过间接水冷和铜辫子的冷却方式可以得到很大程度的抑制,进而保证光斑质量。     

基于MATLAB的乙酸乙酯皂化反应速率常数测定实验的数据处理与图形绘制研究

设计了Matlab语言程序,并用于"乙酸乙酯皂化反应速率常数测定"的物理化学实验的数据处理与图形绘制,处理结果与所作的图形均符合实验要求。与手工作图相比,具有简洁、快捷与直观等特点,而且可避免人为因素的误差。     

码头钢吊桥液压设备设计

对码头吊桥液压设备进行了设计,包括液压缸的结构、液压动力站结构、管路安装、现地电气控制以及液压原理,该设计在轮渡码头方面得到了广泛地应用。     

Artillery structural dynamic responses uncertain optimization based on robust Nash game method

Journal of Mechanical Science and Technology - To coordinate the contradiction between artillery launching performance indexes under parameter uncertainty, this paper proposes an artillery...     

液压支架顶梁部件焊接的变形分析

针对顶梁部件焊接过程中的变形,采用ANSYS有限元分析的方式对焊接过程中的温度场及变形进行仿真分析,结果显示,温度应力及残余应力的影响是产生变形的主要原因.针对顶梁的焊接变形,提出了相应的控制措施,以减小顶梁的焊接变形,提高液压支架的生产效率及性能,为煤矿的开采提供有效的理论支撑.     

Effect of Temperature and Strain Rate on the Hot Deformation Behaviour of Ferritic Stainless Steel

Metals and Materials International - The flow behaviour and microstructure characteristics of a ferritic stainless steel were investigated using plain strain compression test on a Gleeble 3500...     

基于状态空间法的电动机故障诊断和识别

电动机的初期故障信号一般较弱,不易辨别,而状态空间法在小信号的处理中灵敏度很高。为达到对电动机故障的诊断和识别,试图把状态空间法应用到对电动机的故障诊断中,先通过推导,从数学理论层面分析了状态空间法对于电动机故障信号的可辨别性,再使用Matlab软件搭建状态空间的辨别模型,把实验台测试的三组数据导入到模型中进行测试。测试的结果有力地证明了此方法的可行性,并能克服快速傅里叶变换(FFT)中数据采集量较大、分辨率不高的缺点。