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电子回旋共振(ECR)等离子体法广泛用于SiO_2、Si_3N_4膜等的低温CVD技术,以及MOS器件的微细栅极刻蚀技术。在ECR等离子体法中,由于低气压下生成高离子化的等离子体,故以低能量、大的离子电流照射而能持续进行表面反应,然而以往的技术无法实现高质量的薄膜工艺。由于用固体靶溅射,靶材供给容易,进而把上述技术作为基础,开发了ECR溅射技术。 相似文献
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衣服是二维面料裁剪、缝制而成,用于包裹三维身体。并且由于其可以调节体温的功用而发祥,我们可以把它看作从身体扩张而出的"第二层皮肤"。空间也是包裹着身体,可以调节体温,但是由于其不可移动性又与衣服有着根本的区别。在形成空间的地面、墙壁、天花等元素到衣服之间存在的隔断、家具等物品我们可以将之称 相似文献
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以籼型单季超级杂交稻中浙优1号为材料,研究水稻强化栽培氮肥管理对产量与氮素利用率的影响。结果表明:水稻强化栽培与常规栽培对照比较,增产达11.1%-15.2%,氮肥回收率比对照高5.3%~26.9%,农学利用率比对照高67.2%~92.2%,生理利用率比对照高6.0%~80.5%。因此,在水稻生产上应用水稻强化栽培可以提高氮肥的利用,降低氮肥在环境中积累及对环境造成污染。此外,本文对水稻强化栽培下氮肥管理的高产机理进行了探讨。 相似文献
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粉煤灰应用中存在的问题与对策山东省德州市计划委员会刘宝三一、粉煤灰的危害粉煤灰是燃煤电厂排出的工业废渣,其主要成分是二氧化硅和三氧化二铝(占70%以上),其它有铁、钙、镁、钾、钠等的氧化物和部分炭粒,同时还有部分微量元素。粉煤灰对环境的危害主要表现在... 相似文献
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本文介绍了一种基于并行通讯的LED大屏幕动态显示的实现方案,包括发送和接收的软,硬件设计以及多机通讯技术。 相似文献
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