用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术

用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模(PSM)技术主要有无铬相移掩模(CPM),交替相移掩模(APSM)、衰减相移掩模(AttPSM)和混合相移掩模技术。对这些掩模的基本原理、制作方法及性能比较进行了分析研究。研究表明,无铬相位光刻(CPL)PSM和高透AttPSM 相结合构成的混合掩模最适合用于193nmArF光刻,以产生100nm节点抗蚀剂图形。     

GPS电离层改正模型的评价

讨论了单频接收机的电离层延迟的改正和有关电离层的概况及对GPS信号的影响．对电离层的物理概况作了归纳，并就GPS信号在电离层的传播及其影响进行了探讨，总结了几种电离层延迟改正模型．最后集中讨论了克罗布歇的模型构建及其解算，对模型的优缺点进行了总结，并对电离层延迟改正模型作了评价与展望．     

电台导播的变化和直播间的外延

文章阐述了如何将来自电话、短信、互联网留言等途径的大量及时信息，在导播位置进行编辑后，按照统一的格式及时显示在直播间的屏幕上，从而减少直播主持人的工作量，非常安全可靠。     

基于制造资源优化配置的复杂零件工艺分工规划研究

动态联盟企业中面向复杂零件的工艺分工规划问题是网络化制造中的一个关键问题。针对该问题，提出了逻辑制造单元的概念，通过它在工艺分工规划和制造资源之间建立联系，研究了基于逻辑制造单元的制造资源能力建模、逻辑加工路线设计，以及面向逻辑加工路线的制造资源优化配置。最后面向复杂零件的制造，进行了基于制造资源优化配置的工艺分工规划系统体系结构设计，并给出了工作流程。     

输煤转运系统煤炭粉尘防尘抑尘研究

文章针对输煤转运系统中煤炭粉尘产生的原因进行分析,通过EDEM离散元仿真软件对转运系统中的颗粒及设备进行仿真分析,查看煤炭颗粒运动速度、方向对设备及扬尘的影响,通过优化挡板角度、增加曲线落煤管曲线段,使扬尘现象得到改善。     

俄罗斯黑色冶金的情报保证问题

20世纪60年代,苏联的科学技术情报系统不逊于美国。在1962年,苏联开始建立国家科学技术情报系统,并在较短时间内发展成世界上最强大的。国家科学技术情报系统包括苏联一些科学技术情报的著名中心,如全苏科学技术情报研究所和苏联国家公共科技图书馆。     

钢铁化学法磷化发黑工艺研究

介绍了一种钢铁化学法着黑色溶液的组成及工艺参数：K2Cr2O710g/L、MnSO4 4g／L、(NH4)2SO4 20g／L、Zn(H2PO4)2 20g／L、KNO3 12g／L、CuSO4 6g／L、添加剂A(钼酸铵)2～3g／L、添加剂B(柠檬酸盐)3g／L、H3PO4适量、pH值为1．5～2．5、温度为10．25℃(室温)、时间为12～18min。分析了该着色液着色的机理，着重讨论了该配方各组分的作用及其对着黑色膜质量的影响。实验结果表明：该工艺发黑具有着色时间短、环境污染小、黑膜附着力强、光泽性好特点，同时该膜提高了钢铁的耐磨性和耐蚀性。     

碳对铁及其合金超细微粒氧化特征的影响

采用ＣＯ２激光诱导Ｆｅ（ＣＯ）５－Ｃ２Ｈ４－ＮＨ３的气相分解反应制备了Ｆｅ、Ｆｅ－Ｎ和Ｆｅ－Ｃ－Ｎ超细微粒（微粒直径小于１００ｎｍ）,用透射电子显微镜、Ｘ光衍射、Ｏ／Ｎ和Ｃ／Ｓ测试仪及振动样品磁强计等研究了微粒的结构、表面形态、表面氧的状态及磁性能等;探讨了碳对微粒的氧化特征,特别是对微粒表面氧的形态及其磁性能的影响。结果表明,微粒表面氧的状态可分为吸附态和化合态,并且二者的含量随着微粒的种类不同而变化,碳对微粒表面氧的存在状态、微粒的氧化状况及磁性能具有决定性的影响     

新型圆筒混合机的结构特点浅析

通过分析现有圆筒混合机的结构特点与不足,提出了一种新型混合机结构,橡胶轮胎仅作为支撑结构,筒体由液压马达或电机驱动,传动形式采用特殊设计的两点啮合销齿传动,与传统混合机相对比,详细分析了该结构的主要特点,表明新型圆筒混合机可实现节能减振的高效混合过程,具有较好的应用前景。     

深基坑施工与对历史建筑的保护

软地基、高水位、多地下障碍物的深基坑施工本身就是对施工技术与施工经验的挑战,而又紧贴历史保护建筑的情况下进行的施工更是难上加难。在上海远洋大厦施工的全过程中。针对近在咫尺的历史建筑,采取了若干保护性的技术措施,终使老建筑安然无恙,取得了较好的社会效果。