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采用射频磁控溅射的方法在硅衬底上生长出高质量的Mg0.16Zn0.84O薄膜.用X射线(XRD)、原子力显微镜(AFM)分别研究了在200、400、600和800℃下空气中退火2h的Mg0.16Zn0
84O薄膜的结构、表面形貌.结果表明,Mg0.16Zn0.84O薄膜是六角纤锌矿结构,具有沿与衬底垂直的C轴的择优取向;随着样品退火温度的升高,(002)衍射峰强度明显增强,衍射峰半高宽(FWHM)由0.86°单调地降低到0.40°,晶粒大小明显增大,最大的高达400nm以上.用TV1900型双光束紫外可见分光光度计测量了淀积在蓝宝石衬底上的Mg0.16Zn0.84O薄膜室温的透射谱,得到可见光区的平均透过率约为95%,进而估算出Mg0.16Zn0.84O薄膜的带隙宽度约为3.58eV. 相似文献
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有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用真空反应蒸发技术,在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜,对薄膜的结构和光电特性进行了研究。制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达84%,电阻率为8.23×10-4Ωcm,载流子浓度为1.72×1020cm-3。 相似文献
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气囊抛光是一种发展潜力大的抛光技术,其优点在于材料去除量均匀、抛光效率高、吻合性好。采用环形气囊抛光实验平台,在研究了环形气囊压强、不同粗糙度初始基底对K9光学玻璃表面抛光质量影响规律的基础上,提出了一种全新最佳工艺参数组合的思路:分阶段进行压强数值的选定,进行组合工艺实验。实验研究表明,随着气囊压强的增大,K9光学玻璃的抛光效率得到了提高,初始基底的表面粗糙度值越小,K9光学玻璃的抛光效率和质量越高。 相似文献
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