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1μm宽硅深槽刻蚀技术 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响刻蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现1μm宽的硅深槽刻蚀工艺途径;并给出了1μm宽、8μm深、侧壁及底部光洁的硅深槽刻蚀工艺条件。 相似文献
82.
本文将奇异摄动系统看成是存在参数扰动的广义系统的一种特殊形式,然后利用广义系统特征结构配置来使广义系统的有限闭环极点尽可能接近奇异摄动系统的闭环主导极点,从而达到近似配置奇异摄动系统主导极点的目的。本文提供的算法是数值稳定的。 相似文献
83.
稀疏效应下一类捕食者与食饵系统极限环 总被引:1,自引:0,他引:1
蔡淑云 《吉林化工学院学报》2002,19(4):95-97
研讨了稀疏效应下一类捕食者与食饵系统 :x· =x(x(r-x) -y) ,y· =b0 y(x -m) .讨论了该系统平衡点的性态 ,并证明了该系统极限环的存在性和唯一性 . 相似文献
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86.
波分复用系统中的交错复用器(Interleaver)技术 总被引:4,自引:1,他引:3
鉴于波分复用技术已成为光纤通信的发展方向,介绍几种新型的交错复用器的原理、结构等情况,对各种器件进行了比较。 相似文献
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90.
蒸发式空冷器的运行实践 总被引:1,自引:0,他引:1
通过了解蒸发式空冷器的工作原理和结构,在运行实践过程中,对组成设备出现的问题提出相应的解决方案,并对部分组成设备提出改进的建议,以方便检修和维护,并提出了在冬季长时间高炉休风情况下保证水温不下降过低的解决方案。 相似文献