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101.
为了更精确地确定邻近效应参数,借助优化的电子散射模型,利用改进的Monte Carlo算法模拟了电子束在固体中的散射过程,得到了不同曝光条件下抗蚀剂中的能量沉积分布。利用最小二乘非线性曲线拟合法对该分布进行了双高斯拟合,得到了邻近效应参数α,β和η的值,并与实验结果进行了比较发现,最小二乘非线性曲线拟合法可以用于邻近效应参数的确定。对不同曝光条件的参数拟合显示,增加入射电子束能量,α减小,β增大,而η几乎不变;增加抗蚀剂厚度,α增大,β和η变化不明显;增大衬底材料原子序数,β减小,η增大,而α几乎不变。所得结果不但能为电子束曝光条件的优化、邻近效应的降低提供理论指导,而且还能为邻近效应校正快速地提供精确的参数。 相似文献
102.
一类表内多概念间多层次关联规则挖掘算法及应用 总被引:3,自引:0,他引:3
提出并研究了一类表内多概念多层次关联规则挖掘问题,给出了该问题的形式化描述,提出了相应的挖掘算法并对算法进行了初步分析。该算法应用于某营销经理信息系统的关联规则挖掘的结果表明,该算法是实用和有效的。 相似文献
103.
目的 随着数字图像及编辑软件的广泛应用,伪造图像层出不穷,对新闻传播、法律取证等行业造成了影响。拼接伪造是一种常见的伪造方式,这种伪造方式往往会向原始图像中添加新的对象,导致原始图像语义受到改变、曲解。现有很多基于卷积神经网络的篡改检测方法都更关注篡改痕迹的特征提取,但忽略了伪造图像中的语义不一致。针对拼接伪造中原始图像发生的语义变化,提出了一种以篡改检测为主任务,语义分割和噪声重建为辅助任务的多分辨率全卷积神经网络。方法 通过多任务策略将语义分割和噪声重建作为辅助任务。语义分割任务旨在捕捉拼接伪造图像过程中产生的语义不一致现象,噪声重建任务允许网络获得更全面的图像噪声分布。为了使网络获取更全面、准确的特征,网络中的RGB流、噪声流和融合模块都使用多分辨率思想从多个分辨率上提取处理不同形状和大小的拼接对象。结果 本文与其他几种先进的篡改检测网络和基于HRNet(high-resolution network)的基线网络进行了对比实验,在Fantastic Reality和Spliced Dataset两个数据集中,本文方法均取得了最优性能,F1分数分别为0.946和0.961。对JPE... 相似文献
104.
低镍含铅白铜精密异型材生产工艺的改进 总被引:1,自引:1,他引:1
针对低镍含铅白铜精密异型材生产中产品质量不稳定,成材率低的问题,通过改进工艺,引入异型轧制,增大道次加工量,消除中间坯料缺陷,最终达到改善产品性能及表面质量,降低生产成本的目的。 相似文献
105.
106.
熔铝电阻率的测量基于电涡流原理,设计了传感器的结构和标定方法。为了简化测量熔铝电阻率的硬件电路,在信号处理电容中采用了LVDT专用芯片AD598硬软件结合消除了温度影响,在熔铝及铝基合金的凝固研究中得到实用。 相似文献
107.
电化学动电位再活化法评价308L不锈钢的晶间腐蚀敏感性 总被引:3,自引:0,他引:3
用电化学动电位再活化法测得的反向扫描电流的最大值与正向扫描电流的最大值的比值(ir/ia)评价各种敏化程度的308L不锈钢的晶间腐蚀敏感性。结果表明:在不出现过敏化条件下,比值ir/ia与材料的敏化程度有良好的对应关系;随着敏化处理温度的提高和敏化时间的延长,电流比值ir/ia增大。电化学动电位再活化法可以灵敏并且定量地评价308L不锈钢的晶间腐蚀敏感性,并且与草酸实验中得到的金相评级有对应性,ir/ia≤2.97×10-3对应草酸浸蚀实验中的“阶梯”组织,2.97×10-3相似文献
108.
旋锻法加工低塑性有色金属异型材的应用研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对异型材的几种常用加工方法,如拉伸、辊拉、轧制等,分析它们在加工中的应力特点.拉伸、辊拉为二向拉应力、一向压应力,所以对塑性较好的金属线材有利,而对低塑性有色金属材料不利,后者加工时易出现拉裂或拉断现象,造成生产中断甚至无法加工;轧制法应力特点为三向压应力,对塑性较好或低塑性金属线材都有利,但型辊加工昂贵,轧机维护费用高,故轧制法最好用于大规模生产中.旋锻法应力特点和轧制法一致且产能较低,对产量较低、附加值较高的低塑性有色金属异型材尝试采用旋锻方法加工. 相似文献
109.
本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。 相似文献
110.
对于亚微米级的电子束曝光机而言,电子光柱体电流源系统的自动化程度及各路电流源尤其是物镜电源的稳定度,对束斑的影响极大。为突破0.1μm的束斑,特研制了一种电流源系统,集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。 系统构成 该系统在结构上抛弃了传统的开环控制方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源。整个电流源系统由23个模块组成,其中20块电源板输出20路独立的电流;一块8255板作为IBM主机 相似文献