Cu CMP工艺对薄膜介电常数的影响机制

研究了使用不同研磨液的Cu CMP工艺对超低介电常数(ULK)薄膜介电常数k值的影响.实验结果表明经过Cu CMP工艺,ULK薄膜的介电常数k均有不同程度的增加.XPS成分分析结果表明,ULK薄膜表面C含量的增加是造成介电常数k值升高的主要原因.这主要是由于CMP工艺中,化学品溶液进入多孔的ULK薄膜.而退火工艺可以使得化学品挥发,从而使ULK薄膜表面C含量降低,由此介电常数k基本上得以恢复.初步建立了Cu CMP工艺对介电常数k影响的物理模型.根据模型计算的k结果为2.75,与实测值2.8基本符合.     

文丘里式气泡发生器内气泡输运过程研究

利用可视化方法研究文丘里式气泡发生器内气泡的输运和破碎过程。实验以水和空气为工质,水流量范围为15～20 m³/h,气流量范围为0.6～0.7 L/min,空泡份额在0.2%～0.3%之间。结果表明：不同于常规通道,气泡在从文丘里管喉部流出后具有一个明显的减速过程,使得气液相对速度随之增加,该减速过程对气泡变形和破碎存在极大影响;水流量对气泡的破碎位置无明显影响,气泡破碎位置通常发生在渐扩段距喉部8～10 mm左右的范围,处于壁面涡流区与主流的交界附近。     

普侨直流普洱换流站内接地网替代接地极双极运行方案

首先分析了普侨直流普洱换流站接地网替代接地极双极运行的必要性,接着对接地网替代接地极运行可行性开展一系列研究,主要包括:鉴于接地极和接地网设计原则差异,对接地网热稳定性、接触电压和跨步电压等开展校核;为最大限度减少不平衡电流进入站内接地网,提出了优化双极解/闭锁同步逻辑、双极电流跟随同步逻辑和双极联跳逻辑,同时为最大限度满足系统、设备及人身安全要求,提出优化整流侧76SG、整流侧87GPS及逆变侧60EL等保护功能。现场运行表明:通过对直流站控功能、极控功能及保护功能进行优化后,普侨直流完全能适应普洱换流站接地网替代接地极双极运行方式,双极解/闭锁、双极联跳时差较小,一致性较好;各种运行工况下,站内一次设备安全运行、人身安全及二次设备安全运行等均满足规程要求。     

胶原蛋白改性超细纤维合成革基材的吸湿透湿性能研究

采用三种不同的改性方法使胶原蛋白对超细纤维合成革基材(USFSLB)中的聚酰胺纤维表面进行修饰改性,即胶原蛋白-铬植物单宁(C-ChrT)修饰UFSFLB;乙烯基胶原蛋白涂覆超纤基材(USFSLB/CMA);乙烯基胶原蛋白点击修饰巯基化超纤基材(USFSLB-S-CMA)。并采用两种静态透水汽性检测方法探究温度和湿度对不同改性方法所得的USFSLB的吸湿透湿性能的影响。通过对三种改性方法所得的USFSLB在不同的温度湿度的静态透湿率(SWVT)的检测,可以明显看出三种改性USFSLB在不同的温度湿度下的静态透湿率(SWVT)都较未修饰的USFSLB有明显提升,且随着温度湿度的上升,静态透湿率值都迅速增大。由此可见,三种修饰方法均对USFSLB的吸湿透湿性能有所提高,其中乙烯基胶原蛋白点击修饰巯基化超纤基材的透湿性能最好。     

巨厚砾岩下回采巷道冲击破坏机理

为探究巨厚砾岩下回采巷道冲击破坏机理,以千秋煤矿21141工作面(半孤岛面)运输巷为工程背景,首先采用数值模拟手段分析正常工作面和半孤岛面主应力场特征和回采巷道围岩区域主应力场特征,以及顶板破断产生的扰动作用对巷道围岩塑性区的影响。结果显示半孤岛开采引起的最大主应力较大,巷道围岩塑性区呈蝶形分布且在煤层中出现急剧扩展。然后分析巷道围岩蝶形塑性区急剧扩展的力学机制,得出巷道RPP曲线,阐述巷道冲击破坏的敏感因素,并揭示巨厚砾岩下回采巷道冲击破坏机理:处于半孤岛面中部的回采巷道在受到顶板破断产生的扰动作用后,巷道围岩区域主应力场突然发生改变,导致围岩蝶形塑性区急剧扩展,并以声响、震动和煤岩体抛出的形式释放存储于体内和围岩系统中的大量弹性能,出现爆炸式破坏的动力现象。     

无安全压力窗口裂缝性地层五步压回法压井方法

采用常规压井方法处理无安全压力窗口裂缝性地层气侵时存在一压即漏、漏完仍喷的问题,为解决该问题,基于安全控制井筒压力并重建安全压力窗口的指导思想,提出了五步压回法压井方法。介绍了五步压回法压井的基本原理和挤压转向、平稳压回、逐步刹车、吊灌稳压和堵漏承压5个步骤,给出了压井液排量、漏失压差、井口套压和安全压力窗口等关键参数的计算方法。五步压回法压井方法自2006年开始在塔里木油田推广应用以来,控制了1 138井次溢流和38次井控险情,大大提高了压井成功率。研究结果表明,五步压回法压井方法能有效控制井筒压力,实现喷漏同存裂缝性地层的安全钻进。      

控制压力钻井技术在KVITEBJΦRN油田高温高压井中的应用

KVITEBJΦRN油田是高温高压凝析气田,油层位于中侏罗纪BRENT组和下侏罗纪的砂岩中,经过几年的开采,地层压力亏空严重,造成井下情况复杂,无法进行钻井作业。为此,采用了以控制压力钻井为主的多项综合技术,较好地解决了井下钻井压力窗口窄小的难题。控制压力钻井是利用较低的钻井液密度和地面控制回压装置来调整井下压力的一项技术,能精确地控制井底压力接近或稍大于最大地层孔隙压力。同时采用支持该技术的其他配套技术:钻井液技术、不间断循环技术等,以适应高温高压环境,为钻井作业创造了一个安全的环境。该技术成功应用于KVITEBJΦRN油田的后续2口井。     

梨树凹区块低渗透储层压裂改造技术及应用

梨树凹鼻状构造位于泌阳凹陷南部陡坡带东段,部分储层受沉积和近物源影响,岩心观察发现,微裂缝多发育在含砾砂岩、透镜体和小型揉皱构造中,表明该区块储层为双重介质低渗透储层。针对这种情况,开展了净压力控制、高粘压裂液体系和多级段塞降滤为主的压裂改造优化技术研究。现场应用该技术效果显著,这为该区块的储量升级和含油连片提供了技术支撑。     

光纤式永久温压监测系统在大北204井的应用

大北204井是塔里木盆地库车坳陷克拉苏构造带上的一口评价井。塔里木盆地库车山前高压气井井况复杂,普遍具有井深（6000~8000m）、高温（150c~170c）、高压（气藏压力110~125MPa）、高二氧化碳含 量（含量0.3%~1.0%,分压大,腐蚀性强）等特点,常规的电子压力计不能满足该地区的温度和压力测试的需要,迫切需求一款新产品来适应该地区的测试。因为光纤式永久温压监测系统具有很强的适应性、抗腐蚀性和寿命长等特点,塔里木油田选择在大北204井进行先导性实验,并取得了良好的施工效果,这不仅可以对该井井底温度和压力进行实时监测,为开发方案的调整提供科学依据,也为该地区在温压检测手段上有了一个全新的突破。