毫米波波导元件的生产技术

随着人们对应用毫米波兴趣的增长,导致了需要采用新的元件制造技术。本文介绍目前正在研究中的一些加工方法。     

腐蚀率连续监视

冷却水系统和烟气脱硫装置是能够在运行和检修中采用最先进的腐蚀率连续监视器的两个系统。     

精密工作台扰动观测器的设计

针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密工作台设计了前馈 反馈 扰动观测的控制器.详细讨论了扰动观测器的设计方法.实验结果表明,采用扰动观测器后,实现了±0.15μm 的静态定位精度,以150 mm/s匀速运动时轨迹跟踪精度保持在±1.5 μm 的误差带范围内.扰动观测器能够有效地抑制低频噪声和克服参数变化的不利影响.     

超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析

多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立动力学模型,实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台,此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力,且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求,建立了2类主要耦合模型:位置相关耦合和力相关耦合。其中,位置相关解耦连接控制点到质心,力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证,实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。     

光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制

超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output, MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入的伺服误差,降低各自由度间的耦合,从而提高光刻机超精密运动台对不同轨迹跟踪任务的适应性及跟踪性能。采用多项式对MIMO前馈控制器进行参数化,以保证前馈控制器的固有稳定性及其对变轨迹的鲁棒性。利用脉冲响应实验法无偏估计过程灵敏度函数矩阵的马尔可夫参数,进而建立高效的数据驱动参数优化算法,根据伺服系统的输入-输出数据迭代优化MIMO前馈控制器参数。所提方法无需对光刻机运动台建模,且每次迭代仅需一次轨迹跟踪实验。将所提方法应用于课题组自主研发的光刻机硅片台,2种参考轨迹的跟踪实验结果验证所提方法在有效提高轨迹跟踪性能的同时降低各自由度间的耦合。     

地下土壤渗滤技术及其强化生物脱氮研究进展

地下土壤渗滤技术(SSIT)是一种分散式污水处理装置，由于其建造费用低、运行维护简单及污水无害化程度高等优点被广泛应用于分散污水治理。系统总结了SSIT研究发展现状和存在的主要问题，梳理了近20年内国内外在SSIT的研究进展、取得的主要成果。重点综述了影响SSIT脱氮效率低的主要因素(进水碳氮比、间歇运行、分流进水及曝气强度)及强化脱氮技术(基质填料添加、纯化菌种或活性污泥接种及耦合工艺研发)。最后总结了SSIT面临的挑战及研究潜力，为我国SSIT在分散污水处理领域的发展提供科学和实践依据。