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低功耗有机/无机混合结构热光开关的研制 总被引:5,自引:5,他引:0
利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层和无机材料SiO2作为下包层,设计并研制了一种有机/无机混合结构的Mach-Zehnder干涉(MZI)热光(TO)开关。为了保证波导中的单模传输、减小模式辐射损耗和衬底泄露损耗、缩短响应时间并降低器件功耗,对其结构参数做了优化。利用化学气相沉积(CVD)、涂膜和湿法刻蚀等工艺制备了器件样品。在1 550nm工作波长下,器件的开和关状态的驱动功率分别为0和13mW(开关功率为13mW),开和关状态间的消光比为18.3dB。在方波驱动电压信号作用下,测得器件的上升和下降时间分别为126和134μs。与无机材料Si/SiO2和全聚合物材料研制的TO开关相比,本文研制的混合结构器件综合利用了芯层聚合物材料热光系数大、上/下缓冲层厚度均较小以及Si/SiO2导热系数大的优点,因此同时具备了较低的功耗和较快的响应时间,在光通信系统中具有较好的应用前景。 相似文献
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Arrayed waveguide grating (AWG) is a key device in wavelength-division multiplexing (WDM) system, and the flat spectral response of the AWG device is required. In this paper, the RIE process has been improved. By using the steam- redissolution technique, the insertion loss and the crosstalk have been reduced. Experimental results show that the central wavelength is 1550.86nm, and 3-dB bandwidth is about 0.478 nm, insertion loss is 10.5 dB, crosstalk is about –22 dB. The insertion loss of an AWG device is reduced by about 3 dB for the central channel and 4.5 dB for the edge channels, and the crosstalk is reduced by 2.5 dB after the steam- redissolution. 相似文献
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利用聚合物/SiO2混合材料脊形波 导结构以及化学气相沉积(CVD)、涂膜和湿法刻蚀等 工艺,设计并制备了一种低功耗 马赫-曾德尔干涉(MZI)热光开关。测试了波导芯层和包覆层材料的色散特性,模拟分析了 器件的输出功率和光谱性能。以可调 谐激光器作为光源,实验测试了所制备器件的开关、响应和光谱特性。在1〖KG -1/ 6〗550nm中心波长下,器件的开关功耗约为7.8mW, ON与OFF状态间的消光比达32.6dB。在纯净方波驱动电压信号(峰峰 值为3Vpp)作用下,测得器件的上升和下降时间分别 为107μs。保持器件在1550nm波长下的驱动功率不变,测得器 件的输出光谱约为50nm(1520~1570nm),且在此范 围内,器件的消光比大于18dB。利用NE555等 集成电路自主制作了一种噪声幅度可调的含噪信号驱动源,借此研究了器件 的容噪特性。结果显示,当要求器件的消光比大于10dB时,可允许的最大噪声幅度为1.1Vpp。 相似文献
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总结目前制图课件中存在的不足与弊端,提出把“教与学”的互动性作为课件开发的首要原则;分别从主界面设计、授课界面、练习界面、模型库界面等几个方面,介绍了中北大学‘画法几何与机械制图’的互动式课件开发的理念,以使多媒体课件更好地服务于教学。 相似文献
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本文针对计算机绘图实验课程的特点,从授课内容、授课方式和考核等方面加以探讨,提出了通过计算机绘图实验课程培养学生具有创新意识的教学模式。 相似文献
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为探究工艺参数对铝合金微弧氧化膜层中蛇纹石含量的影响,采用微弧氧化技术,分别在双向恒压、单向恒压和单向恒流模式下,在添加蛇纹石微纳米颗粒的电解液中进行试验,在ZL109铝合金表面原位生长陶瓷层。采用SEM、EDS及XRD对膜层进行分析。结果表明:在单向恒压和单向恒流模式下制得的微弧氧化膜层的蛇纹石含量相比双向恒压模式分别提高了92%和113%;微弧氧化膜层中的蛇纹石含量随电流的增加而增加,随频率的增加而降低,随电解液中蛇纹石微纳米颗粒浓度的增加而增加;试验过程中试样与电解槽之间的电场产生的电泳效应,使得在电解液中呈电负性的蛇纹石微纳米颗粒移动到试样表面,在接触到试样表面熔融态的高温氧化物时,蛇纹石微纳米颗粒表面熔化而粘合在试样表面,经电解液冷却复合到了微弧氧化膜层中。 相似文献
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