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11.
铝在超大规模集成电路(VLSI)金属化中存在着一系列影响互连可靠性的因素。但是,铝仍是多层互连结构有前途的材料,尤其是用电子束蒸发制作所谓“竹节结构”(bamboo struct)连线获得了理想的结果。在高真空条件下,电子来蒸发耐熔金属可以在相当低的温度下(550～650℃)获得高质量的硅化物层(TiSi_2、CoSi_2),可避免与硅接触的地方产生强应力。用钨作阻挡层和连线比Al更有前途,这首先是因为耐电迁移强度差不多要高两个数量级。对于淀积平整的介质层来说,把蒸气混合物激励淀积到负温度衬底上是有发展前途的工艺。 相似文献
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2005年年初,夏新手机似乎一直瑟缩在国产手机整体失利的阴影之下,一切都显得是那么平淡,市场策略低调,新产品推出乏力,在媒体的一片质疑声中,夏新以一种特有的坚韧,始终保持着沉默.但在每一种挫折或不利的突变背后,往往孕育着希望的种子. 相似文献
19.
缴荫川 《机械工人(冷加工)》1992,(4):19-21
紫铜又称纯铜,按纯度分为T1至T44种。数字越大,含杂质越多。图1为所加工紫铜垫图的设计尺寸图。由于铜材强度不高,硬度低,对切削加工有一定的影响。下面分析一下切削紫铜垫圈的刀具及其刃磨。 相似文献
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一、前言灌溉用水渠道向来多用明渠,为使水流稳定其比降较缓,过水断面相应要大,从经济的观点看是不利的。另外,做为最小能量的临界流,仅仅能量的变化将带来较大的水面波动,致使水流不稳定。正因为如此,作为使明渠水流稳定的条件,提出佛劳德数Fr<0.44。由于渠道是考虑地形坡降和社会条件而设计的,而且在沿渠有各种各样的设施,如沉砂池、分 相似文献