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研究李亚微米聚离子束(FIB)系统的漂移现象,给出了测量漂移的方法,分析引起漂移的原因及降低漂移的措施,发现了偏转电极上的钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象;测出了各电极电压变化所引起民漂移的大小;发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴的必要性。所给出的数据漂移数据既包含早期的单组透镜FIB系统的数据,也包 相似文献
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最近,我们在整理天津市计量监督检测科学研究院(原天津市计量研究所)保存的民国时期标准量器时,在铜斗包装箱内发现一块长273.4毫米、宽227.2毫米、厚16.2毫米的硬质木板。其一侧边长(宽13.5毫米)和高呈约60°角的斜面,酷似当今直线度计量器具“刀口尺”。木板背面,沿两长边分别粘贴宽89毫米和42毫米,厚为4毫米的两条长方形薄板,使木板底面朝上放置时呈现出凹槽状。此木板无编号和其他文字标记,我们从它在包装箱中的固定位置推测,它是与标准铜斗配套使用的计量检具或计量器具附件。这是否就是一直湮没在史籍之中,难得一求的“正权槩”中所说… 相似文献
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本文介绍了一种具有高速消隐和可变束流的二级透镜聚焦离子束(FIB)系统的设计原理和方法。在这种新的二级透镜FIB系统中,采用了束径束流的双工作模式和一种新的电可调无级可变束径束流方案,使二级系统既可用于需要大束流的TOF─SIMS和刻蚀粗加工,又可用于需要小束径的高分辨扫描离子显微镜和刻蚀精加工以及FIB暴光、变蚀等其它微细加工。设计中提出了逐级可测试性设计原则,解决了多级系统中对中调整和测试的困难。计算了透镜系统的离子光学性能和各种参数对束径束流的影响。最后对系统进行了初步的调试,束斑达到0.1μm,得到了预期的结果。 相似文献
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介绍了最新设计的二级透镜聚焦离子束系统,该系统具有高速消隐、束径束流电可调等特征,给出了该系统的设计计算和调测结果。在束能15KeV,束流30pA,束径达到0.1μm。 相似文献
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亚微米聚焦离子束溅射刻蚀的实验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
简要介绍了自制的聚焦离子束(FIB)系统中束着靶点的飘移现象,分析引起飘移的原因及所采取降低飘移的措施。用此FIB进行了一些基本图形的刻蚀研究,讨论了束流密度分布对溅射刻蚀线条宽度的影响。最后介绍了用FIB制作光电集成电路的谐振腔面和耦合腔的一些经验。 相似文献
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高炉小钟拉杆应定制整料加工,本厂因无加工条件,在分析小钟拉杆的工况和受力后,提出采用焊接工艺,并设计焊接坡口,校核焊缝强度,提出焊接加工的技术要求,小钟拉杆加工后符合图纸要求,为中小高炉小钟拉杆的制造开创了新路。 相似文献
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针对大量铁尾矿污染环境和城市电磁辐射污染严重的问题,采用铁尾矿粉作为电磁波吸收剂,制备了多孔结构吸波材料,以此提高固体废弃物利用率和减少城市电磁辐射污染。探究了铁尾矿掺量和干密度对多孔结构吸波材料力学性能和电磁吸波性能的影响。结果表明,在干密度为812kg/m3、铁尾矿掺量为30%(质量分数)条件下,多孔结构吸波材料的抗压强度为5.23MPa,吸水率为5.4%。当多孔吸波材料试件厚度为24mm时,其吸波性能最好,有效吸收带宽为11.8GHz,最低反射率为-36.9dB。 相似文献