极紫外光刻真空工件台技术研究

在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术。     

微型MEMS致冷器的研究新动向

微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用研究前景。     

随机化的加拿大云杉蚜虫模型

地球上任何物种都离不开自然环境,而自然环境因素通常是不确定的,也就是受到随机因素的干扰．加拿大蚜虫也不例外,针对加拿大云杉蚜虫问题,讨论了一个具有HollingIII功能反应函数随机化的加拿大云杉蚜虫问题模型,利用Lyapunov函数方法证明模型的正解存在的唯一性,并且正解不会在有限时间内爆破．     

大学生学习心理及调适

大学的中心任务是教学,教师教学生学,但是在知识经济时代,知识更新快,"学习什么、如何学好"一直困扰着学生;加之客观环境变化大,对于这些天之骄子来说,在大学这个小社会中还要应对各种各样的问题和压力,因此大学教育还要承担起对学生进行心理健康教育的任务。本文就是从学生的心理特点和学习特点出发,对大学生在学习方面存在的心理问题进行分析并提出了指导学生如何进行适当的调适的方法,旨在帮助大学生提高自身的心理素质,以良好的心态去应对学习上遇到的各种问题,从而提高学习效率。     

碾压混凝土局部出现弹簧现象分析

在湖南江垭水库碾压混凝土施工过程中,由于受到各种因素的影响,7坝段EL111￣113 m和9坝段EL114.5￣116 m仓面碾压混凝土分别出现了局部弹簧的现象,且混凝土的凝结时间过分的延长。1碾压混凝土弹簧现象简述7坝段EL111￣113m仓面混凝土于1998年1月6日16时开仓浇筑,于1月8日14时收     

融合动态演变信息的声学三维温度场重建

在声学层析成像方法测量锅炉温度场的应用中,温度场重建算法的精度和速度起着重要作用。建立了三维温度场声学重建的动态模型,提出了同时考虑声学测量信息和温度场动态演变信息的动态重建算法。建立了一个融合声学测量信息、温度场的空间约束及动态演化信息的目标函数,在光滑约束法的基础上构建了反映相邻空间像素位置关系的正则矩阵,采用Tikhonov正则化和优化相结合的方法求解目标函数。仿真模拟研究表明,与最小二乘、代数重建法和标准Tikhonov正则化算法等静态重建算法相比,融合动态演变信息的温度场重建算法的重建速度相仿,而重建精度有显著提高并对于测量数据误差具有更好的数值稳定性,为声学温度场重建提供了一种可行性极高的有效方法。     

EUV掩模版在曝光过程中的热变形

极紫外光刻(EUVL)技术是实现45 nm特征尺寸的候选技术之一,产业化设备要求300 mm硅片的产率大于每小时80片(80 wafer/h),此时入射到掩模版上的极紫外光功率密度很高,掩模版上的吸收层和Mo/Si多层膜将分别吸收100%和35%的入射光能量,从而导致其热变形,引起光刻性能下降,因此必须分析和控制掩模热变形。利用有限元方法分析掩模版在不同功率密度下的热变形,结果表明,抗蚀剂灵敏度为7 mJ/cm2和5 mJ/cm2时,入射到掩模版上的光功率密度分别为259.24 W/cm2和184.38 W/cm2,掩模版图形区域x-y平面内最大变形分别为1.11 nm和0.71 nm,z方向最大变形分别为0.26 nm和0.19 nm。     

川陕甘地区阳山金矿矿床成因及成矿背景

阳山金矿床为中国最大的卡林-类卡林型金矿床,关于其成因有很大的争议,从其成矿背景、岩石化学特征来看,阳山金矿床更具有造山型金矿床的特征。阳山金矿床构造位置上处于大陆内部碰撞造山带,成矿形成于陆陆碰撞造山过程。金矿体严格受断裂构造控制,主要赋存于顺层产出的层间剪切带中;金矿体产于斜长花岗斑岩脉内或者斑岩脉与砂质、粉砂质千枚岩的接触带中,成矿时间与造山活动时间基本相同、与脉岩侵入时间接近,似显成因联系,但成矿流体以大气降水为主,不同于岩浆流体;斑岩脉具有同碰撞花岗岩的特征;金以浸染状为主,但有明金;元素组合以Au、Ag、As、Sb、Hg、Bi为主,具有较大Au/Ag比值。这些特征不同于卡林型金矿床,而与造山型金矿床有相似之处,显示了造山作用与金矿成矿的关系密切。     

设备安装工程中质量监控的重要性研究

本文通过设备安装工程的实践,详细阐述了设备安装工程中工程师的原则,在施工准备阶段、施工阶段、竣工阶段的监督工程师的具体工作内容及应注意的事项。     

建筑机电安装工程施工管理概述

建筑机电系统是建筑的血脉,机电系统的好坏直接影响着建筑质量和使用水平。建筑机电安装工程施工管理是影响建筑机电安装工程的最主要因素。文章从施工安全管理、图纸设计管理、组织管理、合同管理、施工进度管理、质量管理六个方面阐述了建筑机电安装工程施工管理理论。