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本实验研究利用激光分子束外延法（L－MBE）研究在SrTiO3(STO)(001)基片上生长的BaTiO3(BTO)/SrTiO3(STO)超晶格的微结构,利用小角X射线衍射光谱（SAXRD）的计算机模拟来获得BaTiO3/Sr-TiO3超晶格的微结构参数,如：总的膜厚度,超晶格周期,表面和界面的均方根粗糙度等。实验结果表明超晶格的表面和界面非常平整,均方根粗糙度大约为0.2nm,原子力显微镜（AFM）的实验研究已经证明了超晶格结构的平滑程度,超晶格的＜001＞方向存在着微弱的关联现象。 相似文献