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粉末溅射SnO2/CeO2薄膜酒敏元件 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍粉末溅射SnO2/CeO2酒敏薄膜特性的研究和气敏元件及气敏层参数的设计。介绍元件热功耗的规律,反应温度的规律,测试电压对灵敏度的影响的规律。讨论了用相对灵敏度消除湿度影响的设想,以及对低功耗元件,简单气敏元件集成电路研制等问题。 相似文献
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用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2Pt双层膜,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导. 研究了两种薄膜对CO响应的次方因子,测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响.实验结果表明,由室温至200 ℃,这两种薄膜对CO气体都显示了较高的灵敏度和选择性,两种薄膜电导对CO的响应服从次方定律关系,薄膜工作温度及厚度对次方因子均有影响,次方因子在0.5~0.8之间,次方因子在膜厚60~70 nm附近存在极大值.对两种薄膜测量结果的比较说明,这两种薄膜的气敏响应主要发生在薄膜表面. 相似文献
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在中国经济快速增长的过程中,水资源正变得日益稀缺,建设节水高效的现代灌溉农业是农业生产的必由之路。节水灌溉技术可以在不减少作物产量的前提下,减少灌溉水的使用,从而节约水资源。 相似文献
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介绍了往复压缩机气量调节系统的种类及各自的适用场合,同时还介绍了压缩机旋转不均匀度及飞轮转矩的相关知识。文章以工程中常用的2D和4M两种常用机型为研究对象,详细阐述了无级气量调节系统对往复压缩机转矩的影响,得出往复压缩机新上无级气量调节系统时,应校核压缩机转矩是否变化过大而导致旋转不均匀度超过标准规定值的结论,对压缩机的选型校核及运行维护有一定指导意义。 相似文献