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牺牲层工艺是制作MEMS开关的重要工艺,牺牲层平整度差会导致开关上电极变形,进而影响MEMS开关的性能.提出了一种高平整度聚酰亚胺牺牲层的制备方法,采用了自然平流法与双层牺牲层结合的方式.首先研究了温度对聚酰亚胺流动速度的影响,极大地缩短了自然平流法所需要的时间.自然平流法的局限性在于无法彻底解决聚酰亚胺牺牲层平坦度差的问题,之后可采用AZ5214光刻胶作为第二层牺牲层,进一步提高了牺牲层的平整度.固化后的聚酰亚胺性质稳定,不与酸碱反应,为光刻胶作为第二层牺牲层提供了条件. 相似文献
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电流源逆变器(CSI)随着反阻断IGBT器件的成功开发,在电动汽车等大功率变频调速领域前景广大。FPGA作为控制器,其时序控制能力强大,适合用来实现基于电流型空间矢量脉宽调制(SVPWM)技术的永磁同步电机(PMSM)变频驱动器。该系统通过采用最小直流链电流命令产生法和合理的死区开关状态设置,有效减小直流和开关损耗。系统为应对开路故障引起直流链电感产生瞬间高压打坏开关器件的现象,设置由双向TVS管和功率电阻构成的电感电压箝位环节,并监测直流链电流值,一旦低于限值则实现保护性停机。实际系统使用Xilinx公司FPGA开发板,基于电流源逆变器转子参考框下交流侧的理论模型,建立了一套数字化闭环调速策略,实测定子电流THD值及功率因数均达到良好效果。 相似文献
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兰州石化公司催化剂厂分子筛车间的桨式干燥器 ,其桨叶发生了腐蚀开裂 ,经分析为焊缝晶间腐蚀和磨蚀。选用 316L材质并将桨叶改为“单叶凹式”结构 ,同时采用高聚陶瓷对壳体进行防护 ,使浆式干燥器的腐蚀问题得到了解决。 相似文献
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<正>"贺利氏贵金属南京工厂的建成投产,将为在华业务的未来发展打下坚实的基础,进一步巩固我们在中国、亚洲和全球贵金属加工领域的市场领导地位。"贺利氏集团管理委员主席凌瑞德最近畅谈在中国的发展。契合中国发展规划凌瑞德指出,贵金属催化剂被誉为"移动的金矿",从废催化剂或其他行业中提纯回收贵金属具有重要的战略意义。目前中国是全球最大的铂族金属消费国, 相似文献
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隧道变形是隧道安全检测的重点之一,同时也是评估隧道安全状态的重要内容。随着激光技术的发展,激光扫描技术近年来逐步应用于隧道断面检测。目前已有的隧道断面拟合方法较为单一,针对这一情况,提出将精确曲线拟合方法应用于隧道断面拟合成。NURBS曲线可以精确表示二次圆弧的特点,利用这一特点,提出了将NURBS曲线拟合应用于圆弧型隧道断面拟合,并通过计算拟合曲线上的点到标准轮廓曲线的最短距离对拟合效果进行评价。通过使用隧道设计标准断面数据进行数值仿真验证,结果表明NURBS曲线可以良好实现隧道断面的拟合,NURBS方法拟合曲线更加贴近隧道断面的真实状态。 相似文献