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HfO2基材料铁电场效应晶体管(FeFET)商业化应用面临的一个重要挑战是其疲劳特性差.本文提出,在基于金属-铁电-绝缘层-半导体(MFIS)栅叠层结构的FeFET中研发合适的高κ界面晶籽层(SL)以大幅度提升其疲劳性能.我们在ZrO2, HfO2,(HfO2)0.75(Al2O3)0.25 (HAO)和Al2O3等典型的高κ介电SL上制备了Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)铁电薄膜,系统研究了HZO薄膜的微观结构、铁电性及其MFIS器件的存储特性.首先,揭示了HZO薄膜中铁电正交相的形核和生长不仅受高κ介电SL表面能的影响,而且其微观结构对HZO中正交相的形成也起到重要作用.其次,澄清了高κ介电晶籽层对MFIS结构存储特性的影响,通过精确计算的MFIS结构的界面层电场,对MFIS结构的存储特性做出了合... 相似文献
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过程装备与控制工程专业加强过程教学的认识与实践 总被引:5,自引:4,他引:1
从理解过程装备与控制工程专业的内涵出发,本文阐述了对本专业加强过程教学的认识,介绍了加强过程教学的一些具体措施及体会。 相似文献
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HFC双向网改造工程的重点和难点集中在回传通道上,本文对HFC回传通道设计的基本原则进行了论述,同时对正向通道的设计方法和回传通道的设计方法进行了比较。 相似文献
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据法文版《皮革工业技术杂志》1982年9月刊报道:在第40届巴黎国际皮革周博览会上共有来自世界各国约16家化学工业公司展出了他们近年将生产的皮革专用化工材料。这16家公司大多数都是享有世界声誉,几十年来一直从事化工生产的专业公司,拥 相似文献