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采用自制的不含常用的腐蚀抑制剂(BTA)碱性铜精抛液对铜和钽进行了化学机械抛光。研究了高稀释倍数(50倍)的精抛液对铜膜的静态腐蚀速率和抛光速率以及钽抛光速率的影响,并对65 nm技术节点的300 mm单层铜布线片进行了平坦化研究。结果表明,铜膜的静态腐蚀速率为1.5 nm/min,动态抛光速率为206.9 nm/min,阻挡层Ta/TaN抛光速率仅为0.4 nm/min,Cu/Ta选择比高。此精抛液能够有效去除残余铜,进一步过抛完全去除残余铜时,对阻挡层的去除速率趋于0,而沟槽里的铜布线去除量低,碟形坑和蚀坑大小满足实际平坦化要求。此精抛液可满足65 nm技术节点平坦化的要求。 相似文献
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水泥原料中Ca、Fe、Si、Al等元素含量的高低决定着水泥的品质,而元素的含量与其对应的峰面积呈正比。由于氢元素既影响快中子慢化效率,同时又具有很高的热中子俘获截面,因此,本工作利用蒙特卡罗软件MCNP建立了基于252 Cf中子源的瞬发γ中子活化分析(PGNAA)水泥在线分析系统模型,分别对0%~5%水含量下的水泥原料进行模拟分析。通过解谱分析分别得到各关键元素的峰面积,分析了水含量变化对关键元素峰面积的影响,并建立了水含量自校正模型。结果显示,本文所建立的自校正模型能将未知水含量状况下各关键元素的峰面积校正为不含水状况下的峰面积,有效剔除了原料中水含量的影响,从而提高了各关键元素的测量精度。 相似文献
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基于气相色谱-离子迁移谱技术鉴定内蒙古地区3个品种羊肉挥发性代谢物 总被引:1,自引:0,他引:1
分别选择放牧条件下6 只6 月龄体质量相近的乌珠穆沁羊、苏尼特羊和阿尔巴斯白绒山羊背最长肌为实验材料,采用气相色谱-离子迁移谱联用技术对3 个品种羊肉中的挥发性风味代谢物进行定性及定量测定,并对图谱差异进行分析,获得3 个品种羊肉的挥发性代谢物差异。运用主成分分析和偏最小二乘判别分析筛选乌珠穆沁羊肉与苏尼特羊肉、阿尔巴斯白绒山羊肉的差异挥发性代谢物。结果表明:在3 种羊肉中共检测到52 种挥发性风味代谢物,其中筛选并定性出乌珠穆沁羊肉与苏尼特羊肉差异代谢物7 种,分别为乙酸乙酯、丙酮、乙醇、2-丁酮、丁醛、壬醛和苯甲醛;乌珠穆沁羊肉与阿尔巴斯白绒山羊肉差异代谢物7 种,分别为丙酮、乙酸乙酯、2-丁酮、乙醇、苯甲醛、2-戊酮和3-羟基-2-丁酮;苏尼特羊肉与阿尔巴斯白绒山羊肉差异代谢物10 种,分别为丙酮、乙醇、2-丁酮、壬醛、乙酸乙酯、异戊醛、3-羟基-2-丁酮、2-戊酮、苯甲醛和辛醛。 相似文献
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以改性榴莲壳作为吸附剂,采用静态吸附法处理结晶紫模拟废水溶液。结果表明,提高改性榴莲壳投加量、振荡速率、pH以及延长吸附时间有利于对结晶紫的吸附,而温度的变化对结晶紫的吸附影响不明显。当改性榴莲壳投加量为0.5g,结晶紫初始质量浓度为20mg/L,吸附时间为60min,振荡速率为140r/min时,改性榴莲壳对结晶紫的去除率可达99.78%。吸附动力学过程可用准二级动力学模型描述,等温吸附过程可由Freundlich吸附等温模型描述。改性榴莲壳与结晶紫之间发生多层吸附,最大吸附量为298.51mg/g,吸附过程是以物理吸附占主导的自发、放热过程。改性榴莲壳在印染废水中有较好的应用前景。 相似文献