大面积均匀平坦纳米AlN薄膜的研制

采用射频磁控溅射法,通过优化沉积工艺,在n型 (100)Si片上制备出 (100)择优取向表面粗糙度均匀的氮化铝(AlN)薄膜。当溅射功率为 120W和N₂∶Ar＝12∶8时,制备的AlN薄膜的结晶性最好,101.6 mm AlN薄膜样 品的表面粗糙度为3.31~3.03nm,平均值为3.17nm。研究结果表明:射频磁控溅射能量 和N₂浓度是实现大面积、均匀平坦、纳米级AlN薄膜的重要制备工艺参数。     

明胶微球乙型肝炎疫苗的研究

用明胶作为原材料制备出10～100μm直径的明胶微球，用来包裹乙肝疫苗抗原，其包裹率为90％以上。免疫动物后抗－HBS在3～4个月达到高峰，10个月仍能维持较高水平（S／N为80～90）。微球疫苗优于Al佐剂疫苗，也优于含Al佐剂微球疫苗。明胶微球制备方法简单，抗原不接触有机溶剂。用琼脂糖、明胶＋阿拉伯胶等均能制成微球，且均可包裹成功。明胶微球可以成功地制备出HB－DT微球疫苗，关于它们的制备条件和免疫效果有待进一步观察和改进。     

从轧管线配置看工业控制系统的发展趋势

以无缝钢管生产线自动化控制系统的构成为例,介绍了当今较流行的工业自动化控制系统的构成方案。通过自动化控制系统的基础控制级、过程控制级的架构及控制功能的实现,展示了工业控制系统未来的发展趋势。     

How to reduce the Al-texture in AlN films during film preparation

The preparation of aluminum nitrogen(AlN) film without Al texture is of great significance for the manufacture of highperformance surface acoustic wave(SAW) device.We research the process factors which bring Al into AlN film due to radio frequency(RF) magnetron sputtering system,and discuss how the process parameters influence the AlN thin film containing Al.In the research,it is found that the high sputtering power,the low deposition pressures and low partial pressure of Ar can lead to growing Al-texture during AlN thin film preparation,and the experiment also shows that filling the chamber with nitrogen gas can recrystallize a small amount of Al composition into AlN film during the annealing process in the high temperature environment.     

线路氧化锌避雷器应用中注意的几个问题

雷击是造成线路跳闸停电事故的主要原因之一,线路避雷器已被证明是有效的防雷措施之一。介绍了线路避雷器应满足的技术性能要求,并提出了线路避雷器安装选点的一般原则及安装中应注意的几个问题。     

宣传计量方针政策的阵地 探讨计量事业发展的平台 《中国计量》杂志社第十九次通联部主任暨编委会工作会议在恩施召开

本刊讯"《中国计量》杂志是一个阵地,宣传计量方针政策的阵地;《中国计量》杂志是一个平台,把大家集合在一起,共同探讨计量事业发展的平台。"国家质检总局刘新民巡视专员在《中国计量》杂志社第十九次通联部主任暨编委会工作会议致辞中指出,"计量司将一如既往地支持《中国计量》杂志的发展,     

第四届“中国计量中青年优秀科技论文奖”评出

本刊讯在8月7日召开的《中国计量》杂志社第十九次通联部主任会议暨编委会工作会议上,《中国计量》杂志社编委及代表投票评选出了第四届"中国计量中青年优秀科技论文奖"一、二、三等奖(名单附后)。参评文章为《中国计量》杂志2012年第4期至2013年第3期刊出的技术类文章。"中国计量中青年优秀科技论文奖"是2009年在延安召开的编委会上,由《中国计量》杂志社编委会决定设立的。     

测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法

提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径西3mm电容传感头,通过变化空气隙△h进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0．01μm。若采用有效电极直径西1mm传感头,测量精度可达0．001μm。通过理论分析和实验证实,该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数,不需特殊制备样件,是非接触测量,测量方法简单、成本低。因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量。     

大气压力下双光子电离痕量苯系物检测实验研究

利用激光双光子电离技术研究了在大气压力下探测痕量苯系物的方法。介绍了实验装置,该装置不需要复杂的真空系统;报道了一些有意义的实验研究结果。实验结果表明,该方法不仅可以做到实时快速的测量,而且具有较高的探测灵敏度,其探测极限达到10×10-9。     

ZnO纳米结构薄膜的三阶非线性折射特性

采用直流溅射法在石英基片上制备了ZnO纳米结构薄膜。X射线衍射(XRD)谱表明ZnO尺寸约为5nm。利用Z 扫描技术,以锁模Nd:YAG激光器作光源(脉宽35ps,波长为355nm),在共振区域测定了ZnO纳米薄膜的三阶非线性光学常数,其非线性光学折射率常数n2=-5.7×10-8esu。