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Al2O3、ZrO2、Ta2O5和La2O3薄膜在栅介质、无机EL介质和光学薄膜方面有着重要用途,但对其复合薄膜介电性能方面的研究很少。文章采用电子束共蒸发法制备了厚度分别为414nm和143nm的Al2O3-La2O3(ALO)和ZrO2-Ta2O5(ZTO)复合薄膜,用Sawyer—Tower电路测得介电常数分别为17和34,反映介电损耗的参数△Vy分别为0.013V和0.56V,击穿场强分别为128MV/m和175MV/m,在50MV/m场强下,ALO的正、反向漏电流密度分别为3.1×10-5/cm2和4.1×10-5A/cm2,ZTO的正、反向漏电流密度分别为3.9×10-5/cm2和3.7×10-5A/cm2。另外,实验还与电子束蒸发和反应溅射制备的Al2O3、ZrO2、Ta2O5的介电性能做了比较,结果表明,上述复合薄膜单独作为无机EL绝缘层是不合适的。 相似文献
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注水开发是油田保持地层能量、实现稳产、降低递减率、提高最终采收率的最主要方法。高尚堡南区油田在注水开发过程中,油井含水率在短时间内急剧上升,注水见效效果较差;为找出含水率突变的具体原因,重点分析了高尚堡南区油田的断层、注采比、层间非均质性、射孔层位、采液速度和油藏构造对含水率突变的影响,针对该油田所存在问题提出了高尚堡南区油田的措施和建议。 相似文献
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